场发射扫描电镜技术标书

附件场发射扫描电镜技术标书

一、设备用途扫描电镜是一种多功能仪器，广泛地用于材料微观组织观测、微区成分分析、材料断口分析、材料晶粒度分析、夹杂物分析及织构表征等，可对导电及不导电固体材料进行表面形貌观测及成分分析场发射电镜可以实现更高辨别率形貌观测，可实现对超细晶材料尤其是纳米材料表征基于有关附件，也可以对材料在温度及应力作用下动态变化进行原位观测仪器包括电子光学系统、真空系统、样品室和样品台、探测器及成像系统、图像处理系统、应用软件及数据处理软件、射线能谱分析仪、背散射电子衍射分析仪、原位加X EDS EBSD热台

二、技术参数运行环境

1.工作温度可以在环境温度工作

1.115〜25相对湿度湿度不不小于时正常工作

1.260%RH工作电压在、电压下，仪器可持续使用

1.3220V±10%50Hz电子光学系统

2.电子枪场发射电子枪

2.1Schottky加速电压步长持续可调

2.

20.2kV〜30KV,10V电子束流束流持续可调，稳定性优于

2.

30.2%/h放大倍数倍万倍

2.415〜100工作距离:粗调、精调两种模式

2.55〜50mm,物镜无漏磁物镜，能有效观测磁性样品

2.6物镜光阑具有自清洁功能

2.7真空系统

3.机械泵、分子泵、离子泵三级抽真空系统

3.1真空模式可以满足基本成像、分析高真空模式，同步满足原位加热台等附件工作需要模*

3.2式真空度电子枪真空度优于、样品室高真空优于

3.3lO4pa l-4pa抽真空时间:不高于

3.45min检测器及成像系统

4.成像模式背散射成像、二次电子成像、任意比例混合模式成像

4.1检测器电子探测器不少于个，镜筒内二次电子探测器个，高敏捷度低电压固体背散

4.231射探测器个1相机样品室红外高清相机

4.3CCD检测器辨别率

4.4二次电子辨别率时不不小于或时不不小于时优于*44130kV

1.Onm20kV L3nm,IkV

3.0nm背散射电子辨别率时不不小于时优于30kV

2.5nm,IkV

3.Onm样品室和样品台

5.样品台自动马达驱动轴以上（、、、、）

5.15X YZ TR移动范围、、持续旋转*

5.2X100mm YN100mm Z50mm T=-5〜70R=360移动精度优于

5.3211m样品室尺寸内径不不不小于高度不不不小于可容纳样品直径不不不小于

5.4300mm,200mm,200mm样品室有、接口

5.5EDS EBSD可加配加热台和原位拉伸台，加热台运行时应保证成像系统和可以同步运行*

5.6EBSD图像处理系统

6.存储辨别率不低于像素

6.1活动窗口多种活动窗口，可同步显示背散射及二次电子图像

6.2图像格式、、等多种图像格式

6.3TIFF BMPJPEG图像帧数不不不小于帧，可降噪处理

6.4256可以进行数字动画记录

6.5具有图像注释、测量等图像处理功能

6.6控制和数据处理系统7,基于以太网架构数据传播系统

1.1软件平台合用于操作系统

1.2windows显示屏显示屏

1.324”LED射线能谱分析仪（）

8.X EDS能量探测器电制冷硅漂移探测器（）

8.1SDD有效采集面积晶体有效活区面积不不不小于窗口有效面积不不不小于*

8.2SDD30mm2,20mm2,可实现低电压或者小束流条件下高质量、高效率分析探测器定位探测器由马达控制精确定位，软件可控，可以实时监测和控制采集计数率,保*

8.3证不一样样品数据反复性和测试条件反复性目能量辨别率优于优于优于*

8.4MnKa127eV,CKa50eV,F Ka60eV元素分析范围至少为

8.5Be4〜U92峰背比优于*

8.60:1谱峰稳定性辨别率变化在以内，小时内峰位漂移不不小于

8.7leV

481.5eV计数率输出最大计数率不小于可处理最大计数率不小于

8.8800Q00CPS,1,500,OOOCPS具有轻元素定量分析和修正功能，可对、、、等进行浓度定量检测以及修正

8.9Be BC N采集界面采用位和位双系统，采集界面以便简朴，智能化设定参数，兼容原有

8.103264EBSD数据，能实现能谱采集与定量分析、线扫描及全息面扫描，包括常规面分布、定量面分布和迅速面分布、迅速智能面分布等定性分析具有点、线、面扫描分析功能，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并具*

8.11有检查重叠峰剥离精确性以及合峰效应有效措施，可以分析夹杂和偏析等微量元素和微量相定量分析采用最先进修正技术和虚拟标样数据库，系统可以自动有效修正元素之间互相

8.12吸取，可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面分析，谱峰稳定，数据重现性好，不需要多元素校准峰位具有以便虚拟标样分析措施，且可以得到高级非归一化定量成果，各元素定量误差没有互相干扰，数据格式可以和电子探针等高级分析方式数据直接对应；智能软件系统中英文任意切换软件界面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和控制

8.133电镜参数，完整离线能谱分析软件，具有实时跟踪能力和智能定性，定量分析能力，自动漂移校正

8.144低电压分析在电镜低电压条件下能正常分析，3KV下可获取轻元素定性定量信息，下具有虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析5KV系统可靠性采用独立图像采集处理器和波形采集处理器，各自独立封装，防止集成式设

8.15计存在故障也许点多、更换零部件成本高问题计算机原装工作站，四核，主频高于三级缓存不不不小于内存硬

8.16CPU3GHz,8M,32G,盘可实时备份，显示屏，可刻录光驱500G*2,27”LCD DVD配有彩色激光打印机

8.17与电镜操作台一体化风格原装进口试验台

8.18背散射电子衍射分析仪（）

9.EBSD与一体化顾客界面，所有应用软件均可在同一种平台上打开，操作简朴以便

9.1EDS支持包括中文在内多种语言智能能谱与系统

9.2EBSD可以与能谱仪同步实现同步原位分析，面分布和面分布扫描可以同步进行,并*

9.3EDSEBSD且任意切换图片显示可根据能谱数据对把戏进行预过滤，实现对未知相相鉴定

9.4EBSD高敏捷度相机，焦距一直固定在荧光屏上，荧光屏和相机像素对应，像素能完*

9.5CCD CCD全运用，没有缩锥比加速电压束流不不小于时可采集到明显衍射把戏

9.65V,100pA直插式探头，具有马达自动伸缩控制和防碰撞功能，可以实时显示探头位置*

9.7工作距离范围具有专门设计和接口，可以在范围任何位置进行采集*

9.85〜40mm WDEBSD分析，充足靠近样品而不遮挡能谱探头在线解析速度高于点/秒，可以记录原始菊池把戏进行离线二次标定

9.9100*

9.10在低束流条件下（＜5nA）,用单晶银（Ni）为标样，标定成功率保证在100%取向测量精度优于度取向精确度*

9.

110.05把戏像素辨别率高于*

9.12提供专用由电子衍射获得晶体学数据库，支持所有重要第三方数据库，可分析不少

9.13EBSD于万种晶体构造，能以便自建数据库和导入数据6CIF背景扣除技术采用动态和静态扣除技术和自动曝光设定，可以自动扣除包括单晶在内

9.147个晶系多种材质背景把戏具有常用分析功能，包括晶体构造模拟、晶粒尺寸、极图、、取向差、晶界分

9.15EBSD ODF析等所有表征，同步可以对材料弹性模量、泰勒因子、施密特因子等进行表征，所有分析功能所有集成在一种软件平台关键算法和误差评判技术具有条以上条带一次标定关键算法，提高角辨别率，可采*

9.164用带宽标定技术改善相似相构造剥离精确性，自动分析复杂材料和辨别相似相，每一点标定误差可以量化显示和控制，且具有角度单位软件具有智能相分布、智能跟踪、智能数据复查、智能相机、智能背底处理、智能标定等

9.17功能具有透射分析专用算法，自动修正透射菊池把戏畸变和中心偏移问题；具有能谱仪

9.18EBSD辅助物相鉴定功能，剥离相似相构造EBSD原位加热台

10.系歹热台*

10.1Gatan UMurano525保护措施带有热量屏蔽装置，对物镜和样品仓不产生明显热影响，需有效保护电镜探*

10.2测器，可以使电镜正常使用，并保证在加热台运行时正常工作EBSD构造构造紧凑，以便安装和取出，可以以便地用于几何配置，同步保持合适工作

10.3EBSD距离温度控制自动控制和手动控制两种模式，可存储所有加热参数，可以精确同步*

10.4PID EBSD面分布与温度曲线加热速度最大加热速度不不不小于

10.5100/min温度范围最高使用温度在以上

10.6950温度精度:*170,5温度稳定性:

10.8l/h配套设备

11.数据处理计算机一台，规定主频高于内存不小于硬盘容量不小于

11.1CPU3GHz,8G,可刻录光驱，显示屏，操作系统采用系统500G,DVD24”LCD MicrosoftWindows7离子溅射仪

11.2全自动离子溅射仪套

11.

2.1Cressington108Auto1靶材为伯金

11.

2.2可镀最大样品直径不小于

11.

2.360mm镀金速率不小于

11.

2.430nm/min镀金颗粒小，镀层均匀1125电解抛光仪

11.3进口品牌电解抛光仪套

11.

3.11输出电压

11.

3.20〜100V输出电流11330〜20A温度范围室温可恒温控制1134〜400,可恒流和恒压操作，负载调解率

11350.01%稳定度电压电压偏移电流

11360.02%,ImV,

0.1%稳压保护电源套，整机供电不低于电子枪系统供电不低于1L4UPS12h,200h备用场发射灯丝系统套（灯丝+光阑）

11.51空气压缩机台

11.61冷却循环水机台

11.71带除湿功能空调一部

11.8

三、技术及售后服务发货时间协议生效后个月内6*厂商规定同款型号设备国内顾客不低于家，同种品牌国内顾客不低于家30200安装验收卖方负责派技术员在买方确定时间内到设备现场进行免费安装、调试，按验收指标逐项测试至到达验收规定，出具验收汇报，由顾客确认签字，完毕仪器验收工作*人员培训电镜厂家需提供初级培训、中级培训和高级培训三级培训模式初级培训安装调试完毕后，立即对顾客人员进行初级培训培训时间不少于天，培训7内容包括电镜及附件操作、电镜及附件平常维护、样品观测、分析、获取图象中级培训仪器运行一段时间后，针对顾客使用过程中碰到问题，由卖方专家到现场进行为期天以上免费培训指导7高级培训如买方有操作人员变更或其他操作电镜问题，可去卖方专门应用培训中心,聘任国内著名材料应用分析专家亲自讲课，理论结合实际*保修期设备自验收之日起整机保修期一年保修期过后，免费提供应用技术支持，并提供五年内免费维护保养在不更换硬件条件下，软件免费升级至最新版本维修响应厂家需在西安有售后服务点，在提出维修规定后，能在小时内做出维修响应,242-5个工作日内到达顾客现场。