《膜材料与膜技术》课程教学大纲

《膜材料与膜技术》教学大纲课程编号

1.100093201课程名称膜材料与膜技术

2.高等教育层次本科

3.课程在培养方案中的地位

4.课程性质选修

5.对应于电子封装技术专业专业；属于专业课程基本模块BZ开课学年及学期非强制

6.先修课程（必须先修且考试通过的课程，必须先修过的课程，建议先修的课程）材料科

7.a bc b学基础，微电子制造工艺基础课程总学分总学时；

8.

2.0,:32课程教学形式普通课程

9.0课程教学目标与教学效果评价

10.课程教学目标（给出知教学效果评价识能力素养各方面的的具体教学结果）（必填）不及格及格，中良优

1.知悉和理解膜材料

1.完全不知

1.对膜材料与

1.对膜材料与膜

1.对膜材料与膜与膜技术中的基础理道，膜技术主要内技术主要内容，技术主要内容，论对膜材料容，薄膜生长核薄膜生长核心过薄膜生长核心过

2.与膜技术的心过程能理解，程能完整理解，程能完整系统地基础理论有但不完整但不系统，存在理解碎片化的理断点解

2.知悉和理解物理气相

1.完全不知

1.对物理气相

1.对物理气相沉

1.对物理气相沉沉积、化学气相沉积的道，沉积、化学气相积、化学气相沉积、化学气相沉原理与方法，薄膜的成

2.对物理气沉积过程原理积过程原理与方积过程，薄膜的核、生长过程理论以及相沉积、化与方法，薄膜的法，薄膜的成核、成核、生长过程薄膜的结构和缺陷学气相沉积成核、生长过程生长过程理论以理论以及薄膜的原理与方理论以及薄膜及薄膜的结构和结构和缺陷原理法,薄膜的的结构和缺陷缺陷主要内容，与方法主要内成核、生主要内核心过容，核心过长过程理论容，核心过程能程能完整理解，程能完整系统地以及薄膜的理解，但不完整但不系统，存在理解结构和缺断点陷，有碎片化的理解.拥有根据所掌握的.完全没能力.整体上拥有.整体上拥有根拥有根据所掌

31222.薄膜制备技术与理论，根据所掌握的根据所掌握的据所掌握的薄膜握的薄膜材料制针对各种需求提出相薄膜材料制备薄膜制备技术材料制备技术与备技术与理论，应的现代薄膜制备方技术与理论，针与理论，针对各理论，针对各种针对各种社会需案，具有分析薄膜制备对各种社会需种社会需求提社会需求提出相求提出相应的先方案可行性及可能影求提出相应的出相应的先进应的先进薄膜材进薄膜材料制备响因素的能力，形成先先进薄膜材料薄膜材料制备料制备方案，分方案，分析薄膜进薄膜材料设计与分制备方案，完全方案，具有分析析薄膜材料制备材料制备方案可析的思维模式；不能分析薄膜薄膜材料制备方案可行性及可行性及可能影响材料制备方案方案可行性及能影响因素的能因素的能力，形可行性及可能可.能影响因素力，整体上形成成了先进薄膜材影响因素问题；的能力，整体上了先进薄膜材料料设计与分析的

2.具有零碎的形成了先进薄设计与分析的思思维模式现代薄膜设计膜材料设计与维模式，有一定与分析的概念分析思维模式，的系统性，但系但缺乏系统性统性方面存在断点课程教学目标与所支撑的毕业要求对应关系

11.毕业要求毕业要求（指标点）内容课程教学目标（给出知识能力素养各方面的（指标的具体教学结果）点）编号

1.

41.将电子封装和电子制造知识运用于

1.知悉和理解薄膜材料制备方法基础理论；

4.2实际工程（如制造、材料、工艺、测

2..知悉和理解物理气相沉积、化学气相沉积试以及失效分析等）问题的解释、分制备原理与方法，薄膜成核过程及微观结构析，提出解决方案；的形成；

2.熟悉电子封装和电子制造中相关器

3.拥有根据所掌握的薄膜制备技术与理论，件、组件的结构和作用原理，具备对针对各种需求提出相应的现代薄膜制备方电子封装材料与结构、电子制造和封案，具有分析薄膜制备方案可行性及可能影装工艺方案设计、实验过程及工艺流响因素的能力，形成先进薄膜材料设计与分程设计、相关材料选取、性能测试以析的思维模式；及可靠性分析的能力，并能够对实验结果进行分析教学内容、学时分配、与进度安排

12.教学内容学时分配所支撑的教学方法与策略（可结合教学课程教学形式描述）（选填）目标第一章绪论41,2,3讲授、课堂讨论，应用图片展膜材料与膜技术简介

1.1示，辅助网络课程资源补充真空技术基础

1.2相关拓展知识第二章薄膜材料制备的真空蒸发法61,2,3讲授，提问，及视频展示元素的热蒸发

2.1化合物与合金的热蒸发

2.2热蒸发技术

2.3第三章溅射法制备薄膜61,2,3讲授，课堂讨论、视频展示及

3.1气体放电现象与等离子体辅助网络课程资源补充相关拓展知识物质的溅射效应与溅射产额

3.2各种溅射技术

3.3第四章化学气相沉积技术

81.2,3讲授，课堂讨论、视频展示及

4.1CVD过程热力学和动力学辅助网络课程资源补充相关薄膜沉积装置拓展知识

4.2CVD等离子体

4.3CVD第五章薄膜材料的微观结构讲授，实物展示，课堂讨论、81,2,3薄膜的形核理论

5.1视频展示及辅助网络课程资薄膜微观结构的形成

5.2源补充相关拓展知识几种先进薄膜介绍

5.3考核与成绩评定平时成绩、期末考试在总成绩中的比例，平时成绩的记录方法

13.考核方式闭卷考试成绩构成平时考查课堂提问及研讨，共分；20期末考试分80教材,参考书:

14.麻时立男著，陈国荣等翻译，薄膜制备技术基础.北京化学工业出版社

[1][M],

2009.郑伟涛，薄膜材料与薄膜技术，第二版.化学工业出版社，

[2][M]

2007.*大纲说明

15.本课程讲述各种薄膜材料与制备的原理、方法和技术针对现代信息社会对材料发展的需求，着重介绍各种薄膜制备技术的基本概念、制备原理、特征，以及其在各类薄膜材料中的应用面向电子封装专业学生Film Materials and FilmTechnologyCourse code:100093201Course name:Film Materialsand FilmTechnologyLecture Hours:32Credits:2Prerequisites:Materials ScienceBasis,Microelectronic Fabricationand ProcessBasisCourse Description:This courseis toexplore theprinciples and methods forthe preparation and applicationsof thin films.Bothtraditional thin films preparation method andstate ofart moderndeveloping methodare included.Thecourse consistsof5chapters,including thin films introduction,physical vapordeposition andchemicalvapor depositionmethod.Thin filmsstructure andtheir formation.Powerpoint andvideo willbeextensively used in theclass.Course OutcomesAftercompleting thiscourse,students shouldbe ableto:

1.Master andunderstand theoryandmethodof thin films preparation.

2.Analyze relationshipbetween structure,composition andproperties of thinfilms.

3.Design appropriatethinfilmspreparationmethodaccording todesired thinfilms performancerequirement.Course Content:Lectures andLecture Hours:

1.Introduction4-Introduction ofthinfilms.

2.Thermal evaporationmethod6-elements andcompounds evaporation-different equipmentsusedinthermal method

3.Sputtering methodfor thinfilms

64.Chemical VaporDeposition methodfor thinfilms\Thermaldynamics andKinetic ofCVD process8Different CVDmethod includingplasma CVD

5.Thin filmsstructure8Nucleation andformation ofstructureSome examplesofthinfilms materialsGrading:Prerequisite quizInclass Quizzes10%Final10%80%TextReference Book:

1.ASAMAKI Tatsuo,Basis ofthinfilmspreparationandTechnology[M].Beijing:ChemicalIndustry Publication,

2009.，

2.Zhen WeitaoThin filmsMaterialsandTechnology,2ed edition[M].Chemicallndutry Publication,

2007.。