第三章技术规格服务要求注以下内容中凡标有“＊”号的，均须无条件满足，否则将被废标

第三章技术规格（服务要求）注以下内容中凡标有号的，均须无条件满足，否则将被废标1主要用途本设备用于磁控溅射工艺制备Cui基半导体薄膜，其他氧化物、卤族化合物等光电功能薄膜

2、配置清单

2.

1、三靶（两寸）磁控溅射镀膜机1套

2.

2、双工位+过渡仓+单工位手套箱系统1套

2.

3、辅助设备，包括低噪声小型空压机1台冷却水循环机1台

3、详细技术要求

3.

1、集成与操作方式镀膜机与手套箱连接，在手套箱中开关真空室，取放样品镀膜机与手套箱分别具有触摸屏界面的自动化操作系统

3.

2、镀膜机技术要求*

3.

2.1磁控电源1套直流+2套射频*基片尺寸最大镀膜区域1片圆形3寸基片*

3.

2.3加热与制冷两套样品台加热最高400度，制冷最低-80度*靶基距50-300mm范围可调，具备长抛溅射功能*合理设计的碘蒸发、碘蒸气传输与流量精确控制系统*真空腔体、气体管路、真空泵需要具备防碘蒸气腐蚀的功能设计*极限真空度W8X1（rPa,在充惰性气体后换基片的情况下抽到5X10*aW30分钟

3.

3、套箱技术要求*

3.

3.1双工位手套箱宽度22400mm,单工位手套箱宽度21200mm*

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3.2水氧指标H201ppm,021ppm

4、商务条款要求:

4.

1、交货地点货到华东师范大学闵行校区

4.

2、质保期验收合格后2年

4.

3、交货期合同签订后”天

4.

4、付款方式合同签订后支付50%,货到后支付40%,验收合格后支付10%

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5、售后服务

（1）协助安装调试前的准备工作，提供相关要求并作相应的指导

（2）货物到达用户指定交货地点后，厂商在接到用户通知后2周内进行安装调试，直至验收通过，并就货物的性能原理操作保养和维护等对用户技术人员（至少2人）进行免费培训

（3）运输、安装、调试等费用由成交供应商负责承担

（4）质保期过后，厂商对货物提供终身维修服务，并保证5年内的零配件供应

（5）厂商应在4小时内对用户的维修要求作出响应，2个工作日内到达现场维修

（6）如遇软件升级问题，在硬件支持的前提下，提供免费升级

5、验收标准验收以采购文件响应文件补充文件（若有时）产品说明书样品（若有时）、合同补充合同（若有时）为依据。