学科协同创新建设项目电气参数

学科协同创新建设项目（电气）参数

一、冷却循环水、电力和气体保障系统*

1.制冷量25匹，分体制冷方式（（15匹+5匹）+5匹）.主体水流量*210m7h.分体水流量*34m7h,出水水压4,出水水温*515-

250.水温控制精度±（）回可调62-4*

7.水箱容量＞6m3*8,主体水泵数量2台（10m»）,一备一用，并具备自动切换功能.冷却系统报警装置温度异常、低压异常、过热过载、水泵过载、低水位报警等9主管路管径英寸

10.

22.各管路有独立阀门

11.末端有独立压力显示

12.设备工位口大于等于个

134.冷却水系统电源线根据需求自带

14.设备整体占地面积＜1512m

2.电力电源配置总量＞*16120kw.主电缆配电室至实验室电缆长度约17100m

18.电缆1YJV4*120+l*

7019.电缆2YJV4*70+l*

2520.电缆3YJV4*50+l*

25.低压配电柜总开四个分闸为21350A160A100A100A63A.配电箱套22:3~4电源布线要求优先保障循环水、真空系统*

23.UPS,管道材质无缝钢管*24316L.管道尺寸及数量长度（两路）25

①10*

1.2,18m*2*26,仪表1氤气表1块，氮气表1块，四氟化碳表1块

27.仪表2低压表6块.气体房个（现场施工）*

281.气体房可存放标准气瓶个295-

6.室内气体输送方式高压软管输送至设备

30.气体到室内接口数量个

316.配安全用电仿真实训系统（提供典型图片张）通过实训能够对学生进行安全用电教育，*322提高学生的安全意识；使学生学会一些自救的方法，让学生在遇到危险时能采取一定的安全措施，保护自己.模拟安全用电基础知识、人体阻抗的认识和测试、直接触电认识实训操作，人体在遭受电击时电流途径、间接触电认识和实训操作、指令标识的认识、电气火灾产生的原因及处理方法.以上含现场施工、装卸、安装调试、运输和搬运到现场33

二、高温真空机电控制系统.真空室有效尺寸＞*10750-850x1400-

1500.真空室材料不锈钢*2316L真空室三节，单节最大长度＜3750mm,真空室内部处理表面镜面抛光处理*

4.炉罩提升高度＜5850mm.真空抽取方式二级或以上

6.真空系统可手动和自动双控制

7.室温真空度优于*

88.0xl0-4Pa*9,抽气速率（L/s）一级泵N16L/S,二级泵N3600L/S.真空系统漏率小时10Wl.33Pa/

11.真空室生长室负压密封疏漏量不大于lxlO-5Pa・m3/s.压缩空气压力

1213.压缩空气容量＞

0.3m

3.压缩空气输送方式高压软管输送至设备

14.充气充正压气体可保压

15.充压气体管路单路两通，适用于保护和清洗两种气体

16.用期升降行程＞17500mm阴蜗升降可快、慢速调整（慢速）

180.05-90mm/h.堪堪升降重复定位精度＜

190.05mm,用烟升降驱动方式步进+减速机*20,加热器材质和数量优质等静压石墨，双加热器

21.电极材质优质紫铜（）+石墨或同级别以上22T

4.保温材料优质石墨纤维毡耐温23N1800E

1.内部温场最高温度＞

2415000.升温速率25l-250/min,控温精度优于团（欧陆仪表块，可分别温度、功率控温，且可单独测温）*26±

0.52,加热方式直流电阻加热27,双加热器电源独立使用，具备手动和联动功能*

28.工艺控制段数具备时间（工艺总时间、工艺当前时间、工艺剩余时间等）和温度控29N20,制（设定温度、当前温度）；工艺设定曲线；用烟升降控制.系统数据采集）当前温度；）真空度；）用烟位置；）输出功率30a bc d.冷却水温，水压，压缩空气压力，保护气体压力使用机械式仪表显示

31.辅助动作控制）真空泵启停；）加热器电源启停；）钟罩升降控制32a bc.报警信息）超温报警；）真空度异常；）电源输出异常33a bc.互锁保护）防相互碰撞；）防止误操作34a b.控制方式:35PLC+HMI+Servo.通讯接口36EtherNet,RS

485.触摸屏寸；网口；串口，及以上3721012USB.控制柜＜38WxDxH600-800mmx600-800mmxl800-2000mm,柜内元器件台达系列；低压元器件国产优质；电线电缆国标无下差*39EH以上含现场施工、装卸、安装调试、运输和搬运到现场

40.。