仿哺乳动物呼吸系统结构微管道网络换热器

仿哺乳动物呼吸系统微管道网络换热器

一、技术领域本发明涉及一种集成电路芯片冷却用换热装置，特别是一种仿哺乳动物呼吸系统微管道网络换热器二背景技术现有的用于电子器件冷却用微管道换热器结构形型式多是基于等人Tuckerman于年提出的平行阵列直微管道型式，其结构形式及制造工艺相对简单随着电1981子器件集成度日益增大，电子芯片越来越小型化，现有冷却系统所能达到的散热能力受到极大挑战，设计一种具有更优换热性能、更低流动压降的微冷却系统成为微管道换热器发展的趋势文献美国专利1US6,474,

074.Ghoshal,Uttam Shyamalindu.Apparatus fordense公开了——种集成chip packagingusing heatpipes andthermoelectric coolers.

2002.5热管及热电冷却器的集成电路封装装置，其中的毛细区虽然也具有树状分形结构特征，但其作用在于单相液体的回流而不是换热；且该装置为集成电路的封装装置，与微管道网络换热器不属同类产品文献2Yongping Chen,Ping Cheng.Heat transferand pressuredrop intree-like.microchannel net.International Journalof Heatand MassTransfer,2002452643-2648提出了一种形树状微管道网络模型，并分析其中层流对流换热特性,以用于电子器T件冷却这种形树状分形微管道网络为双层立体结构，需占用电子器件的上下两T个表面，且两层微管道之间需要有通道连接，实际应用时给器件本身的电路设计、引脚布置、整体封装均带来诸多困难

三、发明内容本发明的目的在于提供一种具有单层平面结构、便于芯片引脚布置与整体封装、可采用等离子刻蚀工艺实现批量制造的集成电路芯片冷却用仿哺乳动物呼吸。