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福建省电子企业有限公司文件编号WI-JLRD-117XXFUJIAN JOINLUCKELECTRONIC ENTERPRISECO.,LTD.生效日期2022-09-30版次
3.0文件名称排气工艺操作指导书1/12页次一,设备排气车与微机控制系统、2x-4真空泵、三级扩散泵、500W电炉、高频电火花检漏器二,原材料氤气(
99.999%)、接梗后灯管三,工具周转盘、砂轮片、真空脂四,操作规程:
1.检查所接收的管是否数量与瓦数有误技术要求使用流总程收发图料操作规程
2.按各班所需的要求平均分配给各班组,保注意事项表单证各班都有管做
1.检查所接收的灯管及色温是否有误
2.将管按需求摆放在流水线上各班发料3,认真分清封口废品与排气废品,小心装入周转盘
4.将剩余未排气管退回总发料处,保证当天所接收管数量无误查看扩散泵油每分钟
1.检查所有拷克上的真空脂,必要时应擦洗旧真空脂,涂上
1.是否跳动次以上,10新的真空脂,转动数圈使之均匀不漏气,再关闭除K
1、K4如未达标则更换电炉外所有的拷克丝或对加热部位进行
2.开启机械泵粗抽系统真空,用高频火花检漏器检查,排保温或更换被氧化变黄的扩散泵油气系统真空度应在30秒内呈灰白色,否则应排除泄漏要注意两台排气车之
2.再将K2拷克打开(转向高真空位置)间的切换;左边红色指▼
3.打开扩散泵冷却水,使冷却水在泵体夹套内畅流示灯亮说明左边机台通申-反之右功对于准备工作
4.系统真空度抽至IO托时开启电炉使扩散泵工作第三线排气车,应多
3.5,开启电脑设备,检查控制柜上主调电压是否符合要求按几次“清济”按钎根据所排灯管型号设定相应通电程序(见附录二)直到将机台电磁阀里I,的杂气抽干净附1
一、二线主调电压LB3160V±3V;LB4:175V±3VO三线主调电LB3180V±3V;LB4:155V±3Vo附2排压气:车拷克排列示意图:⑪⑪⑪⑪⑪⑪左K6K5K4K3K2K1右
1.关闭拷克K1,将吹气拷克K3转到低压风L要求所接泡不能太大或太薄
2.T4S-32W.36W、40W接18根
2.•调节好排气火头,使它达到接泡要求管,灯管接根管,其余型T
5113.用砂轮片割去排气车上的接管尾端,用对口火头将灯管号接23根管从左到右逐一接到排气车上1,关闭K
2、K3,然后将拷克K1转向低真空位进行粗抽,用高频电火花检漏器对灯管进行检漏
2.检漏时如系统内无漏气应呈灰白色,如紫色或红色则表示有灯管漏气,应用火头将漏气管烧割下来,并更换
1.当灯管检查无漏气后,打开K
2、K
3、K5,关闭K1,进行系1,导丝必须绑紧,且不能导致灯丝短路,不能碰丝统抽气
2.将灯管导丝逐一串接起来审核人校对人编制人1-1721987001-181401006012-
10.
50.51106002-
20.5401206012-3535606012-4506001001308DC966步骤分解时间保持时间分解电流保持电流充僦S SmA mA1-137500001-2100404001-3200606001-4300757501-5350808001-6350858501-7400959501-835010010001-930010510501-1040011011001-1140011511501-1240012012001-1325012512501-1410012512501-15511287001-16411297001-17311307001-18211317001-19111327001-2011013312001-211451346512-
10.
50.51308002-
20.5451506512-310065651文件编号WI-JLRD-117版次
3.0页次:10/12041504DC932步骤分解时间()保持时间()分解电流()保持电流()充氮S SmA mA1-142000001-280505001-3200707001-4200808001-5200909001-6200959501-720010010001-815010510501-95011011001-1025012012001-1120012512501-1215013013001-1310013513501-1420014014001-1540014514501-1635015015001-1735015515501-1835016016001-1940016516501-2025116512001-214116611001-223116711001-232116811001-241116911001-25119011001-261117211001-2711017215001-28240909012-
10.
50.51559002-
20.5451709012-31009001文件编号:WI-JLRD-117版次
3.0页次:11/12000911DC9002-J步骤分解时间()保持时间()分解电流()保持电流()充氨S SmA mA1-139000001-2200404001-3200606001-4300757501-5350808001-6400858501-7500959501-850010010001-960010510501-1040011011001-1140011511501-1240012012001-1325012512501-1410012512501-15511287001-16411297001-17311307001-18211317001-19111327001-2011013312001-211451346512-
10.
50.51308002-
20.5451506512-310065651020711LC0557步骤分解时间()保持时间()分解电流()保持电流()充氤S SmA mA1-140000001-2150353501-3250454501-4300505001-5300555501-6500606001-7500656501-8600707001-9400757501-10500808001-11250868601-12100878701-1320888801-1421897501-1511907001-1611916501-17110926501-18125555511-19202555512-
10.
50.5855002-
20.5401025012-33030505012-41505001002603LC933步骤分解时间()保持时间()分解电流()保持电流()充氨S SmA mA1-142000001-28010510501-325012012001-435014514501-530016516501-635017517501-740018518501-820019519501-935020020001-1020020520501-1120021021001-1225021521501-1320022022001-1420022522501-1530023023001-1645023523501-1720024024001-1825025025001-195125217001-204125317001-213125417001-222125517001-231125617001-2412024624001-2524515515512-
10.
50.527015002-
20.54029015012-3103515001电脑排气车运行记录表主调电压()排气车运行情况生产线V记录人时间LB3LB412312312312312312312312312312312312312312日期日期日期日期文件编号WI-JLRD-117版次
3.0页次2/12使用表操作规程流程图技术要求注意事项单
1.将检漏器放到烘箱火头上,打开煤气阀门,点燃火头,烘烤时间分钟6
一、二线排气按通电按钮前将烘箱火头调到适当温度对灯管进行烘烤,不可突然将火必须保证灯管已烘烤分3开得太大将管烤弯或烤黑烘烤钟
2.按绿色“通电”按钮通电,经常检查温度是否正常三线排气必须要烘箱盖好(400—450°C),在管不烤弯变形的情况下尽量将温度后才能按通电按钮升高.
1.电脑主机值守人员认真观察各组所接的灯管型号,选要经常检漏,若有漏气灯L择对应的通电程序对灯管通电分解管应及时将其烧离系统绝
2.通电过程中电脑主机值守人员要仔细观察控制柜上不可带漏通电分解的主调电压是否在工艺要求内,电脑通电程序运行是否正通电程序设定见附录、
2.通电分解常,每小时记录一次如有不正常应及时停止程序运行,---O通知排气工以手工通电的方式补通电.通电过程才旨示灯或
313.排气车操作人员要仔细观察排气情况,按电脑发出的指闪烁,说明通电断开,检查2令操作绑丝,完毕后按通电.
1.当指示灯1快速闪烁一表示该清洗,检查系统及氤气充氮保持时间按指示灯指▼示操作是否有漏气,关闭K3(抽气拷克)及K5检验通电是充氮清洗否干净.
2.将K6旋转30度的角度,打开K5充入5厘米油柱氮气然后关闭(操作时将K5旋转180度)并保持
1.打开K3(通向扩散泵)将系统内的僦气抽走按通电抽真空按钮让程序运行,指示灯1亮且不闪烁,表示程序继续运行
1.当指示灯1缓慢闪烁,表示准备辉光关闭抽气拷克K3,液汞灯管辉光非黄白色,应检查打开K5充入6厘米油柱氤气,然后关闭K5(操作时将系统及氨气
(1)如系统和氮辉光K5旋转180度)气都正常则用手工补充辉光;2,排气工确定系统内无漏气后,关闭温控、煤气,打开烘
(2)如系统漏气或氤气不纯,箱盖子.应排除并重新通电,再手工辉
3.按通电按钮辉光.辉光时要观看每车灯管是否辉光正光辉光时要确保系统内有氨常液汞灯管应为黄白色;汞齐灯管应为黄色气
1.打开K3(通向扩散泵),将辉光后的氨气抽掉抽完后用检漏器打系统
1.抽真空应基本无色
1.当指示灯2快速闪烁,表示该再次清洗检查系统及氤气是否有漏气,关闭抽气拷克K3,打开K5充入5厘米油充氤清洗柱氤气,然后关闭K5(操作时将K5旋转180度),并保持
1.将系统内清洗的氤气抽掉按通电按钮让程序运行,指抽完后用检漏器打系统
1.抽真空示灯2亮且不闪烁,继续运行程序应基本无色3充僦下管
1.当指示灯
1、2都闪烁时,表示充氮下管先检查每
1.充氮量根灯管是否有漏气T2S-5W:
7.0~
7.5cm
2.关闭抽气拷克K3,打开K5(旋转30度)充入规定高1余T2灯
6.5-
7.0cm度油柱氤气,然后关闭K5油标保持稳定20秒T
3、T4汞齐灯
4.5-
5.0cm
3.将灯管从右到左逐一烧割下来T
3、T4液汞灯
5.5-
6.0cm
4.整齐的摆放到流水线上T5灯
4.5-
5.0cm5,充氤后烧割时如有慢漏,则必须重新抽真空;如是大漏,
3.灯管所充僦气皆为
99.999%则必须通电烘烤5分钟后再充氨下管高纯僦.大漏后的通电电流一般不要4通到最大,只要通干净即可文件编号WI-JLRD-117版次
3.1页次:3/12使用表流程图操作规程技术要求注意事项单
1.两只手各拿1—5支灯管,在流水线上将水银梗中的水银.在抖水银过程中不能1抖水银抖入灯管内用力过大,防止水银梗
2.在抖水银过程中不能用力过大,防止水银梗抖断抖断
3.将抖好水银的管整齐的排在流水线上抖水银时不能碰到较
2.硬的地方
1.检查流水线上是否存在红管和漏气管,将其挑出,如是流水线上的管应先放L红管则应把水银抖入再放到流水线上烧梗到捡漏器上检漏,然后检祈
32.将漏气管分成回收品和废品两类烧梗L左手拿灯管,右手拿着梗,将灯管放到单火头上(火焰.烧梗不能有毛刺1上)来回转动地烧,待芯柱烧软后将管与芯柱分离烧汞齐灯管时火焰
2.
2.烧梗长度液汞灯管W
2.5mm,不能对准汞齐应对准烧梗T4汞齐灯管放汞齐端W8nlln,汞齐上端2mmoT3汞齐灯管放汞端W8mlli,.汞齐烧完后应使主3T2汞齐灯管放汞端汞齐熔成T立不能成散汞齐灯管不放汞齐端W3mni,开状
1.将已烧梗的管按各种规格分类好装入周转盘中.汞齐管必须烘1100°Cr
2.对已装好的管进行检漏,并标好各班的记号烤十分钟后方能拿去老收料
3.将管送入老练,并做好交接手续炼r--V排气拷克旋转位置表中拷克从左往右依次顺序为K
6、K
5、K
4、K
3、K
2、KloK6K5K4K3K2K1操作接管/j__________]—►i检漏/11—►t t◄-绑丝/!i T-l充瀛清洗/11-►t-1抽真专/\———t辉光[一/1i—i抽真3多/1i—►——充氨清洗/t-t-t抽真3一一一专z i i充氮下管/iii-i|文件编号WI-JLRD-117版次
3.0页次:4/12附录一通电程序设定(适用手工通电)
1.灯管型号T4S—5/7W、10W15W18W(K30)灯管;T4S-18W(K30)汞齐灯管鸨丝型号DC932通电过程通电
(1)0分钟二通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟通电
(4)4分钟►输出140mA输出160mA输出180mA输出200mA通电
(5)3分钟通电
(6)2分钟输出210mA输出215mA
2.灯管型号T4S—20W.23W、26W(K30)灯管;T4S—23W(K30)汞齐灯管鸨丝型号LC933通电过程.通电
(1)0分钟上通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟通电
(4)3分钟输出240mA输出260mA输出280mA输出300mA通电
(5)5分钟通电
(6)2分钟输出310mA输出320mA
3.灯管型号T3s—13W、15W灯管T3S—9W.11W.13W汞齐灯管鸨丝型号DC966通电过程.通电
(1)0分钟——通电
(2)0分钟通电
(3)0分钟_通电
(4)3分钟►输出0mA输出0mA输出0mA输出140mA通电
(5)5分钟通电
(6)2分钟输出160mA输出180mA
4.灯管型号T3S—18W.20W、23W、26W灯管鸽丝型号LC0135通电过程通电
(1)3分钟立通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟通电
(4)2分钟►输出240mA输出260mA输出280mA输出290mA通电
(5)0分钊J通电
(6)0分钟►输出0mA输出0mA
5.灯管型号T4S—32W36W、40W(K30)灯管鸨丝型号LC933通电过程通电
(1)0分钟—一通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟通电
(4)3分钟►输出240mA输出260mA输出280mA输出300mA通电
(5)5分钟通电
(6)2分钟输出310mA输出320mA
6.灯管型号T3/3UO—10W T3S-5W
73、9W11W.T3mS—7W灯管鸨丝型号LC9002—J通电过程通电
(1)0分钟》通电
(2)3分钟源电
(3)3分钟.通电
(4)4分钟输出90mA输出100mA输出110mAa通电
(5)0分钟通电
(6)3分钟输出130mA
7.灯管型号T5s—55W灯管鸨丝型号ZC9601通电过程通电
(1)0分钟.通电
(2)0分钟►通电通)3分钟.通电
(4)3分钟输出420mA输出380mA通电
(5)3分钟通电
(6)2分钟输出460mA输出500mA
8.灯管型号T2S—9W.11W、13W灯管鸨丝型号LC0556通电过程通电
(1)0分钟》通电
(2)0分钟通电
(3)3分钟胃通电
(4)4分钟复位输出120mA输出140mA通电
(5)0分钟通电
(6)2分钟输出160mA
9.灯管型号T2S一管、7W、8W、鸽丝型号LC0557通电过程(注通电
3、
4、5使用低真空通电,通电6高真空开扩散泵通电)通电
(1)0分钟.通电
(2)0分钟通电
(3)2分钟*通电
(4)2分钟输出100mA►输出110mA通电
(5)2分钟通电
(6)2分钟输出120mA输出130mA
10.灯管型号T4/2U一管、9W、HW、13W、15W、18W灯管T4/3U0—10W.13W15W、18W灯管T4/3UP—10W15W、18W灯管鸨丝型号DC932通电过程.通电
(1)0分钟.通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟_通电
(4)4分钟►输出140mA输出160mA输出180mA输出200mA通电
(5)3分钟通电
(6)2分钟输出210mA输出215mA1L灯管型号T4/3U0—20W23W、26W灯管T4/3UP—20W、23W灯管鸨丝型号LC933通电过程.通电
(1)0分钟——通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟_通电
(4)3分钟►输出0mA输出0mA输出260mA输出280mA通电
(5)5分钟通电
(6)2分钟输出300mA输出305mA
12.灯管型号T4/3U0—10W13W、15W、18W汞齐灯管鸨丝型号DC932通电过程.通电
(1)0分钟.通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟_通电
(4)4分钟►输出140mA输出160mA输出180mA输出190mA通电
(5)3分钟通电
(6)2分钟►输出200mA输出210mA
13.灯管型号T4/3U0—20W23W、26W汞齐灯管鸨丝型号LC933通电过程.通电
(1)3分钟通电
(2)3分钟通电
(3)3分钟通电
(4)3分钟输出240mA输出260mA输出280mA输出290mA通电
(5)5分钟通电
(6)0分钟►输出300mA输出0mA
14.灯管型号T3/3U0—13W15W18W灯管T3/2U—6W、9W、11W灯管鸨丝型号DC966通电过程.通电
(1)0分钟通电
(2)0分钟通电
(3)3分钟_通电
(4)3分钟►输出0mA输出0mA输出120mA输出140mA通电
(5)5分钟通电
(6)2分钟输出160mA输出170mA
15.灯管型号T4/2U—3/5W灯管鸨丝型号LC0557通电过程(注通电
3、
4、5使用低真空通电,通电6高真空开扩散泵通电)通电
(1)0分钟加通电
(2)0分钟通电
(3)2分钟_________►通电
(4)2分钟输出100mA输出110mA通电
(5)2分钟通电
(6)2分钟►输出120mA输出130mA附录二微机通电程序、排气操作工控制面板指示灯闪烁速度
1.最缓慢一一辉光;
2.正常(每秒闪2次)一一断电;
3.快一一清洗
二、程序序号鸨丝对应灯管型号程序只操作两台排30工位程气车程序序1LC0557T2s-5W、7W8W020711T42U-3/5W2LC0556T2S-9W.11W13W0213090211093029133DC9002-J T3S-5W7W、9W、11W000911030912T3mS-7WT3/3U0-10WDC966T3s—13W、15W,00130803150930150845DC966T3/3U0T3W、15W、18W031809T3/2U—6W9W、11W6DC966T3S-9W11W13W.15W汞齐0309087LC0135T3S-18W.20W、23W、26W0023030320043023048DC932T4S—5/7W10W、15W、18W041504T4/2U—7W9W、11W、13W、15W18WT4/3U0—10W13W.15W、18WT4/3UP—10W15W18W9DC932T4ST0W、13W、15W18W汞齐灯管04150310LC933T4S—20W23W、26W002603T4/3U0—20W23W、26W灯管T4/3UP—20W23W灯管11LC933T4S—23W K30汞齐灯管042304T4/3U0—20W、23W、26W汞齐灯管12LC933T4S—32W.36W、40W043218文件编号:WI-JLRD-117版次
3.0页次:8/12通电程序设置程序(说明分解时间为分解电流运行的时间,保持时间为保持电流运行的时间如果时间为3则设执行下一步程序充氤设置0表示不充氨,置1表示要充氤)LC0135002303步骤分解时间()保持时间()分解电流()保持电流()充氤S SmA mA1-137500001-2250858501-330012012001-445013013001—545014014001-660014514501-760015515501-850016016001-940016516501-1030017017001-1115017517501-122018018001-
131.5118111501-141118211501-151118311501-1611518415001-1714518510012-
10.
50.521512002-
20.54023010512-3501051051021309LC0556步骤分解时间()保持时间()分解电流()保持电流()充氮S SmA mA1-139000001-250303001-3150454501-4200555501-5400656501-6400707001-7500757501-8500808001-9450868601-10500929201-11450969601-12300989801-131501007001-1451957001-1541967001-163197700。