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易燃性/惰性气体-316L毒性-双套管()单管304+316L/316L腐蚀性气体-+低压性气体316L++配件.常用种类:•2++及规格一般可分为///螺牙接头尺寸从1/8“〜1”()及1/4“〜300A()皆有,又分短接头()长接头()(以作说明):40E表示公司对的分类,是属于短接头型式表示尺寸为41/4”表示另一端尺寸同前,为01/4”表示此料件型式为E表示料件外表处理等极为:表示此料件为等级的.常用厂牌///…..另外大局部又分为三种・4・5不同规格,分别为一般;及一般型即为平时所见之焊接型式,型为对接型式〔即直接以锁紧),型类似一般型,唯其两端〔三端)尺寸不同一般组盘所用接头有两种,分别为及,其中需锁紧圈,需锁紧1/8圈(以下需锁紧圈),方能有效锁紧11/41/4”3/4大局部的气体使用之为材质,对具侵蚀性*03一・阀件・.常用种类2*手动阀()球阀波纹管阀膜片阀*气动阀()*逆止阀()选取主要依据其尺寸及两端接头型式决定为使气体通过之最小压力通常选用以下之型式必33需使用特殊之,*•3-*其他・.常用厂牌///・备注3/….
4.*高压阀/低压阀依使用场所不同来选择*两通阀/三通阀/四通阀/….依需求来选择,注意流向选择・调压阀材质,・.常用种类-
2.316L,81…*N20-.3*高压/低压/一般压力1/2”1系列无表头单表头或双表头*2P/3P4P毒性/易燃性/惰性气体-316L-系列L25R25腐蚀性气体-+-系列L25低压性气体-需选择可调负压的-系列L96-30”0~
302.
1.7a・.常用种类区别1*压力表头,指针式,C122*压力开关,指针式,带传输线122*电子式压力表头*压力传送器・.使用于盘面及管路上压力范围大致可分为2・
3.*高压(0〜3000)*低压()-30”0~30()常用电源-30”0~160・
4.24V,4〜20过滤器功能过滤气体中的微粒子()•
1.过滤等级选择,即滤径尺寸(),可分为•
2.・中心滤片()材质*//
3./316L/*-滤片材质为流量考量()分一般流量及-
4.大流量・30/100/300/1500•••.
5.:-
6.注意一般常用滤片材质(以为例)*-*:毒性/易燃性/惰性气体-系列腐蚀性气体-,316L过滤效防漏性抓取率抗腐蚀效F不好316L M很好好很差0很好很好好装于///作为抽气使用的选取主要在于其接头的尺寸及型式〃其他1/2”2%氤气纯度以上,每个钢瓶立方公尺或立方公尺,通常
199.99967一瓶每组可使用2〜3天型钢制作支撑架用,有上下脚、双并、有孔等型式12C〕电工管夹将管材固定于型钢上,最大可使用至之管子3C5/8”管束分单立、双立、型等型式,固定管子用[4P牙条吊挂、固定型钢用15型钢垫片配合牙条、吊挂型钢用6弹簧螺帽置于型钢槽内,锁螺丝或牙条用7<符号认识>一次配管一次配管
2.
22.20名词主管副主管一次配及二次配连接的阀隔离阀末端阀•1为由气体的起始流出点()至无尘室中的1:管路形式•2在中的供给系统按其形状可以分为鱼骨式和回路式两种鱼骨式和以鱼骨的形状分布回路式和构成回路形式这两种的供给形式各有自己的优缺点,鱼骨式本钱比拟低,但是由于气体在但方向供给的距离比拟长,容易产生较大的压降,末端局部的容易产生压力缺乏的情况;回路式使用从两端向供气的方式,很大程度上降低了压降带来的不良影响,但是由于延长了的长度,本钱比拟高实际上,不管鱼骨式还是回路式,通过科学的计算,选择适当的压力和管径,都可以满足厂务的需求,选择哪种方式,主要看业主的需要和选择阀件的选择•3*该图为各种阀件在供给系统中的应用位置*选择的依据阀的类型根据气体的种类:根据管路焊接时〔防止管路内部焊道氧化〕的需求*各位置阀的选择Main2Main2〃,3/415A:〃1/2:0名词一气瓶柜气瓶架・1为由气体的起始流出点至无尘室中的气体设备的设计•2•设计流程介绍.设计建议案提出2a Q.箱体,盘面发包组立3a Chosen•/设计功能设计可分为单钢/双钢/三钢1,22+1N2气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种分别为单钢、双钢、二钢单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等制程尚未有量产,气体使用量小,现场可随时协调停机进展钢瓶之更换,其优点节省空间、本钱低、但需透过日常之管理及协调以免中断制程造成损失双钢及三钢常用于量产工厂,制程不允许停机情况,当一支钢瓶使用完后,另一支钢瓶会自动转为供气,此两种形式最大的差异是在管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供给,当用的统一由厂务端来供2给时,所有特殊气体供给系统不管是否相容,全部连接到同一个供给源,会有较高的风险值;万一中央供给系统的中断,警报系统又损坏,恰巧两种不相2容的气体同时使用,此时极有可能发生爆炸的事件发生,一样性质可使用同一瓶钢瓶来增加的本钱及空间非常有限,是一种非常好的应变方式三钢气柜本钱不会差很多平安性会是最好的,只要空间允许应最优先选择操作性设计
2.一般气瓶柜都设计有两个特殊气体钢瓶,需自动切换的功能以到达连续供给不断气的目的,气态气体通常以压力感应器来计算钢瓶的剩余量,假设是液态蒸气压气体则以电子磅秤来侦测剩余量,当一瓶用完时会切换到另一瓶操作上一般可分为全自动、半自动、手动三种方式通常换钢瓶时会执行以下几种换钢瓶前a首先将钢瓶阀关闭,测试是否有关紧,用真空产生器将特殊气体抽出,再用来稀释管壁内的特殊气体,重复执行充吹2经主管线〔)至次主管线[)之点称为一次配[),自出口点至机台〔)或1设备的入口点,谓之二次配()以〔特殊性气体如腐蚀性、毒性、易02燃性、加热气体等之气体)而言其供气源为气柜〔)自出口点至〔.多功能阀箱)或〔多功能阀盘〕之一次测〔)入口点,称为一次配[),由或之二次1侧()出口点至机台入口点谓之二次配()2简单知识根本掌握第一章气体概述由于制程上的需要,在半导体工厂使用了许多种类的气体,一般我们皆依气体特性来区分,可分为一般气体〔)及特殊气体()两大类前者为使用量较大之气体,如、等,因用量较大,一般气体常以大宗N2气体称之后者为使用量较小之气体一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威♦胁的气体,如、等43介绍
1.1半导体厂所使用的大宗气体,一般有大宗气体的制造:
1.、、、、、、等七种2222的动作将管壁内的特殊气体稀释干净,此时即可更换钢瓶换钢瓶后b通常以来进展保压测试,测试钢瓶接头是否衔接良好,再利用重复22执行充吹的动作来将钢瓶接头清洁干净用特殊气体c直接用特殊气体来管壁,主要的目的是要将完全的去除让供气的品质更2好,不会因更换钢瓶而供给品质受到影响高压测漏d通常高压燃烧性气体会建议使用高压测漏,因为经过高压测漏更能确保钢瓶接头衔接没问题一般钢瓶更换时机大约是剩余的残留量,但实际上应以制程的需求10%来决定,这样才会得到最正确的更换时间再者,钢瓶都有使用期限,操过使用期限因为局部特殊气体会对钢瓶造成为腐蚀,污染气源为到达上述『项的功能,其管件的设计就会比拟复杂,建议顾客尽量使4用自动的供给系统,假设使用手动的方式进展,人员操作需要非常的小心慎重,只要任何一项步骤有疏失极可能影响供给的品质,严重时有可能造成人员伤亡即使是气瓶架也应该采用自动的供给系统,虽然没危险性,人员操作不当极有可能造成污染,毕竟要人员重复动作可能几十次,不但需要耗很多的时间,人员也要集中很多精神来执行,风险等级也相对提高气瓶柜管路设计
3.认识气瓶柜盘面上的一些设计,以下逐一介绍盘面上重要主件.气动阀气源一般以来进展控制,不建议使用,因的供给系统比拟122稳定,不会因停电或运转设备故障而中断,此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关.手动控制阀主要用于第二到防护作为第二次确认用,一般于供给气2体的出口端.逆止阀防止特气倒灌到清洁用的系统和抽气用的系统
322.调压阀用于调整供给系统的供给压力
4.压力传送器是防护系统中非常重要的零件,透过它我们可以判断管5路是否泄漏,相关阀件是否正常开关,同时亦可检知钢瓶的剩余量.真空产生器利用快速流动产生吸力,将管路中的气体抽出,以到62达抽气的目的.气体过滤器一般在钢瓶出口端会装比拟粗的过滤器,在出端会装比7拟细的过滤器,有效过滤气体中的粒子,过滤器较不易所以一般不建议装在常的管路中.过流量侦测器对管路异常流量进展侦测,假设是操过设定值,即判8断管路上可能大量泄漏,进而关闭供给系统停顿供气.限流孔是一种简易又有效的过流量控制装置,用以限制大量气体流9过,一般使用于处,其主要功用大量的特殊气体排出,区域性的废气处理机无法处理的情况发生气瓶柜在管路设计上应该特别注意的事项如下不相容的气体管路不可相连在一起
1..不相容的气体不能装在同一个气瓶柜内,即使各自独立的供给系统也2严重制止.管路大小应依实际制程所需的压力流量来设计
3.钢瓶接头型号应事先由业主告知我们以免有接头无法接上的问题
4.小钢瓶会使用可调整的支撑架
5.阀件材质应依气体特性来选择
6.如有考虑扩大性可在出口端加装一个预留扩大阀7平安防护设施
4.气瓶柜防护设计,包括外箱的防火及防爆设计、抽风孔、火焰侦测器、消防洒水头、毒气侦测器、紧急遮断开关、过流量侦测器、温度侦测器、烟雾侦测器、限流孔、远端遮断等其中消防洒水头在气瓶柜内的温度操过℃时,65玻璃会自动破裂洒水,但要注意有些腐蚀性气体会及水产生强烈反映,建议不安装消防洒水头在气体房内也需装烟雾侦测器及洒水头,以防止气瓶柜以外的地方有火灾,所有系统应该及中央监控系统连线,并及播送系统连线,一有警报立即疏散相关人员,由厂区紧急应变小组来进展处理,以免发生危险这些相关防护设备在规划时应特别考虑其摆放位置及其实用,如紧急遮断按钮除气柜上需要外,在气体房外或中央监控系统亦需架设,防止气体外泄人员无法进入关闭源头的钢瓶;此外警报警示灯及警报声响亦需在气体房外面明显的位置架设,以利人员紧急处理时的识别,并规划相关防护器具,如更换钢瓶时所使用的空气面罩为防止地震会在气瓶柜的底部打上膨胀螺丝固定,使其在地震时不至于位移,地震仪的安装通常有三个感应器,分别装于厂区的三个角落,可防止当有外力的干扰时(如施工)即造成误动作,一般执行地震切断系统功能,通常会设定两个地震仪动作才会执行此功能,且设定地震等级为五级另一项比拟特殊的就是紧急的废气处理设备适用于燃烧性气体,一般时抽风量只有一半,当特殊气体外泄时,抽风量会全数运转,需及侦测器配合使用,但受空间限制一般以吸附一瓶特殊气的量作为设计,因为其体积非常大但因价格昂贵目前尚未普及依气体特性来设计盘面功能
5.:2平安功能钢瓶阀,火焰侦测器,洒水头,紧急停气按钮,泄漏侦测器……•的设计内气体种类配置的设计根本上有两种方式一种以供给机台为主,另一种以气体种类进展分类,前者较少用也比拟不好,虽然它有空间上的优点,但不相容气体装于同一个箱子内万一泄漏或人员误动作极有可能剧烈反响严重甚至爆炸,相对侦测器的点数会增加,造成本钱的负担,未来扩大性也较差,后者的设计是目前最普遍采用的方式,虽然无法集中,操作可能比拟不方便,但气体侦测点少,平安性高,设计及操作容易,扩大性佳根本上及气瓶柜的设计是大同小异的,只要气瓶柜有的功能在亦可以做,但由于经费的问题一般功能不会做则好,以手动为主加一个气动阀可做紧急遮断用一般不常会去操作或动到所以发生泄漏的机率比拟低,设计一般以节省本钱为主一般是以业主实际上的需求来设计、、、或其他点数2345的数目,同时供给数台机台,亦可加调压阀做二次调压让压力更加的稳定,设定上下警报讯号做更有效的供给控制
10.依操作方式可分为“自动〃及“手动〃2来干净管路及相关阀件3121(可省略而经由机台来抽气).依制程需求可再次调压4扩大阀/扩大阀,视需求可供未来扩大之电控箱藉由集中控制,并及厂56务中控系统衔接供气状况经()及中控系统连线,如有紧急状况可自动切1断气源.所有阀件接点及焊道均在箱内,可经由抽风功能来减少2气体外漏之危险
3.防爆钢丝玻璃
5.JI二次配管()
3.3/•1为由或开场至生产机台设备处为止U配管之设计-
2、类型1)草图依业主提供之根本资料(厂务需求单,机台、、、图面等),1简单绘制之图面)施工图依据草图协调事宜,经确认无误后绘制而成发至现场施工2小组,即可依图施工)竣工图施工完毕,现场负责人会将现场施工图面收回依现场施工3修正之施工图,绘制竣工图、工作程序及方法2)先期工作1以建立所需之为主对绘图而言,底图是重要且必需的参考依据,同时也希望业主能够提供至于如何做分区、界定,则及客户厂务工程师协调后,再进展底图之分割及最后之图档管理工作进展中2以业主提供之图面及资料,进展统合及绘制草图的工作原则上草a图的统合,是由现场负责人负责一包括资料汇整、位置及水、气、化、电的点数确认,手绘草图的工作等等再及设计人员进展实际的电脑绘图工作电脑绘图完成之草图,经现场负责人确认后,交予客户相关之设备b及厂务工程师协调相关之厂商负责人及客户相关之设备或厂务工程师,至现场实际套图为求图面准确性高,则希望业主提供做为参考之图面及资料能愈详细愈好,以做为最后确认草图的重要依据假设业主提供的图面及资料有修改时,立即进展修改以利完成工作任务协调、修改后经业主相关设备或厂务工程师确认之图面,即为施工c图,可发至现场施工后期工作3现场施工小组依图面施工,施工路径及施工图有异时,施工小组将a在图面上作修正完工后,依现场施工小组修正之图面,绘制竣工图现场负责人及设计人员依竣工图至现场核对,修正后b完成竣工图面工程,人员及设备之需求视现场实际需要而调配例如人员工作量之负荷,是否进驻现场,上下班情况等等,皆须配合业主之要求及预定之时程一切以正确完成工作为原则客户所需提供之图面及资料〔以下为参考资料,实际需求以工程为主)—、图面、客户厂区(最好各楼层皆有)
1、一
2、,3-_、•、(机台设备详细资料)1⑴)[2⑶,,,、各机台使用之点
2、各机台使用之3三.气体使用区域s.G四.使用区域:B.G;22五.适用机台及制程:S.G气体种类适用机台及制程520F2222;
3000、B;、()H22();
3031、;;;()
4663、(、卜()、、、;()、();();303146N20;;
3031、;()、()3430312023Z()、、、;3031;
3000、;、()、()、;()现场配管施工、概说:之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿,再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室o2利用压缩机压缩冷却气体成液态气体,经过触媒转化器,将反响成将2,反响成再由分子筛吸附、再经分溜别离H2H20,2H20,02o℃℃N2=-
195.6,02=-183o20将经由纯化器纯化处理,产生高纯度的氮气2一般液态氮气纯度约为含小数点后共个
99.9999%,69经纯化器纯化过的氮气纯度约为含小数点后共个
99.9999999%,9920利用压缩机压缩冷却气体成液态气体,经二次分溜获得%以上纯度之
99.0氧,再除去、、另外可由水电解方式解离产品液化后易于运送储N2H202,存0利用压缩机压缩冷却气体成液态气体,经二次分溜获得
99.
0、配管的范围:、:由至机台点11-
1、由各出口端至机台点1-
2、配管常用的材料1-
3、一般常用尺寸为〃、〃、〃、〃,常用材质为、、1-41/43/81/23/
4、盘()一般常用尺寸为〃、〃〃、〃;组合阀件1-51/43/81/23/4常见有手动阀、调压阀();接头形式有、、、确定机台需求设计人员依业主提供之机台需求单,包含机台名称、2位置、气体需求数据、气源点(及〕编号,绘制草图、核对现场及机台
3、将图及现场状况核对,如气源点、管路路径、上洞点、盘面、门型3-1架、地板开孔及附属机台位置等、待机台定位后,需再确认上述项、机台位置、门型架高度,及3-22-1机台上各接点气体名称、接头尺寸、点数等〔※在某些设备工程师为新进人员或机台为首次使用的情况下,经常无法提供完整的机台需求)、讨论事项管路在气源点及机台间是否安装盘面、一样气体之各接点4(或)是否共享盘面、盘面高度及如何固定等问题,均需及业主事前充分讨论,以免完工后再次修改、确认图及图将定稿之图及图,交业主审核无误(或修改)后,再交5工程人员备料施工、绘制竣工图现场完工后,设计人员需再次核对图及图及现场状况是6否相符,修正后绘制竣工图一份送交业主、一份存查
7、配管施工、确认图自设计人员处取得图,至现场确认图内各项资料是否相符,8如气源点、管路路径、上洞点等、备料依图计算所需材料,备妥待用9>施工9-
1、规划管路排列顺序依各气源点及机台的相关位置、盘面位置、配9-2管路径及机台接点等,排列管路顺序(能绘制立体图者尤佳)、安装盘面在指定的高架地板下,依管路排列顺序,将一样气体的9-3盘面集中摆设、安装门型架将指定的高架地板,依需求尺寸开孔后,9-4安装门型架、配管所排列管路顺序施工9-
5、考前须知9-
6、配管时使用弯管器或焊接;弯管器使用几倍弯;或局部使用弯管6-9-1局部焊接,均需事先了解、某些机台的附属机台较为复杂,或摆设位置较远,施工前均需仔6-9-2细确认现场施工标准盘底到高架地板标高如现场无法架盘,盘底标高
1.3F170MM50MMo天花板往下是高层;现场,管路爬高至天花
2.2F650MM HOOKUP板;不得穿越上方弯管为底盘上平面向上弯长
3.2F VMB/P VMB/P390MM,80高角度+度MM,20MM,T5上方处弯管,底端及末端相平
4.1F100BALL AL VE PCW二气体标签日孽奏旦气使标签有左右方向,不能混用〔只有箭头方向正确,是不合1,标准的)气体标签要贴正,贴牢
2.管路标示贴纸其方向、字体、种类需正确不可马虎了
3.事黏贴样式依业主要求不同的管径选择不同尺寸的管路标示贴纸及粘贴距离各式及接头不可先行锁紧,仅需稍加施力,以免破坏
4.管材管路施工,水平垂直误差应小于如有不符,即
5.5%,需重新施作附表则为管路支撑及标示间距表
6.11/22M215A-50A3M350A4M
三、材料类、类施工损耗要1F IT TI NG W2%、要按规定使用,不能乱用现场有疑问要及监工联系
2、组要用各组自己领的料,不得乱用别组的料
3、组要用各组自己领的料,不得乱用别组的料
4、场所用现只有两种规格5S UP P0R T300MM和600MM0
四、配管及焊接现场焊接的焊工要经过认证,有焊工证的才可进展焊接动作
1.弯管要用倍或倍弯管器,如现场有特殊情况.(不要随意施工)
2.510盘面要按图架,管路到上洞要按图上的上洞点上洞(不要随意施
3.3F工).切管时不可进刀过快
4.切管,倒角,修端面应让被修端向下
5.弯管的质量必须平顺,无划伤,压扁,严重变形等6情况制止在焊道处作弯管动作
7.现场测试局部测试流程气体管路的指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都符合客户要求的标准并确保我们的产品的质量到达一定的水平、测试前确实认及检查:图面确认
1.当管路施工完成时,、人员要确认图面是否有依照工程图施工,以及施工气体管路种类和数量是否正确,及使用是否正确假设不正确,应立即要求下包厂商修改外观确实认
2.阀件使用是否正确,管子尺寸是否正确,管路路径是否整齐美观,名称标示是否有贴错气体名称,及是否依规定贴置,如有问体,立即要求下包商马上修改焊道确认
3.人员检查焊道之凹凸,或是否过于宽窄时,其判断的标准为,焊道的凹凸以〃管子为例,在管壁厚度以内,〃以上至〃之管子是1/410%3/83/415%,15A以上管子为20%人员发现焊道质量有问题时,应立即要求下包商修改,待质量确认没问题,才可做测试
二、测试流程
(一)保压测试侦测管路是否有漏气现象,值得注意的是氢测漏采用真空测试法,管路所承受的压力只有负大气压且时间短,衔接点或焊道有瑕疵极可能通过测漏,但在高压长时间考验下自然不可能维持原状而不被冲破,所以气密试验是绝相当可靠的记录器之压力范围(如或)应及记录纸之压力0102,0152范围完全相符10-61210-913010-1113000氯气泄漏率大约等于(空气的泄漏率3*l r°1在做时务必每一个焊道均做喷氢气测试,并予以记录
(二)含量测试)使用超纯度氮气作为H201)测试分析前,管可先加热器或加热带加热,以事先除去管壁吸2H202附之水份
(三)含量测试02须使用超纯度氮气作为气体
(四)测试方法在于气体管路使用吹净后,以管路的末端做为取样点,再和仪N2器取样气体入口端衔接,开场作测试,当气体流经仪器内部检测的雷射光N2轮感应器,并经电子式算出的量,每分钟为一个(周期)即分钟正好流1010过立方尺的气体,仪器会自动打印出粒径的,每种共有几颗?除业主有特别1规定外,一般测试流程为个,完成后,会再打印出一张总平均33数之值测试标准及参照表格工程标准气体种类、,压降§824H2%
22.21*
109220.1122所有、,压降824H g2%所有1*109所有
0.11腐蚀/易燃/爆,毒性气体0210腐蚀/易燃/爆,毒性气体H2010异常事件预防及处理高架地板下方欲施工管路规划在其它机台下方,或常有无法施工的情形
1.发生
(一)预防措施在看单一机台施工图面时,应确实将四周机台分怖状况及环境一并列入考虑,以免占到附近机台的盘面位置,上洞口,影响旁边机台的施工
(二)施工人员必须了解各系统施工方式及制作之特性各种根底座的形式,真空管路倾斜角度及路径是否及基座冲突自动焊接及手焊材料使用上差异及现场施工空间之影响施工初期现场环境常及图面不符,造成和其它系统冲突
2.在初期,此种情形很难防止不发生最好应施工前至现场确认图面的正确性同时必须建立及厂务,设备,制程及一次侧信息的畅通管道,提高施工图的正确性对于设备需求不了解,无法判断业主给予的信息正确性,常发生
3.规划使用点不理想,造成路径太远或二次施工,浪费材料本钱
(一)设计人员及监工必须要有较强的专业知识,以判断机台资料的正确性及否
(二)在会勘的时候及机台装机厂商屡次确认及核对现场机台及机台需求表是否存在差异,没有的话我们就施工;有差异的话,一定要尽可能确认后,再施工;尽量减少错误施工,反复施工的时机%以上纯度之筑气,因氨气在空气中含量仅生产本钱相对较高
0.93%,20利用压缩机压缩冷却气体成液态气体,经二次分溜获得%以上纯度之氢
99.0气另外可由水电解方式解离制程廉价但危险性高易触发爆炸,液化H202,后易于运送储存0由稀有富含氧气之天然气中提炼,其主要产地为美国及俄罗斯利用压缩机压缩冷却气体成液态气体,易由分溜获得℃℃-
268.9,-
161.4o大宗气体在半导体厂的用途
2.・主要供给内气动设备动力气源及吹净,助燃主要供给厂务系统气动设备动力气源及吹净N2主要供给局部气动设备气源或供给吹净、稀释、惰性气体环境及化学品输送压力来源02供给制程氧化剂所需及制程中供给氧化制程用,供给03所需之氧气供给及其它制程所需供给制程,离子溅镀热传导介质,稀释及惰性气体环境H2供给炉管设备燃烧造成湿氧环境,制程中做之用,制程中作为H26之复原反响气体及其它制程所需供给化学品输送压力介质及制程芯片冷却的供给系统3大宗々体()虽然:「像特殊气体(),有白J具有强烈E勺毒性、腐蚀性」旦是我幻使用大宗气体时意平安、耍0・C2丁IZ/1—■—A00N2具有窒息性的诈:险,这更左:体无臭、如大量泄,而H彳色、无味,,氧量〔一0002相对致空气中喧舟t为21%减少至169Z以下时,1口有0中量少至1头痛及全心现场当氧气)%时,将任次陷入意火不一1ILo(H2清状态以一瞬而昏倒,无促呼吸分钟以为即觉亡:因一6%F,62泄漏或混入时,攵度必要在其本身之爆炸范围1H2275%-内(如对空气),只要一有火源,此气体乃会因相混而燃烧2会使物质易于氧化产生燃烧,造成火灾的不幸事件因此,身在半导体工厂工作的我们,在设计上、施工中,如何防止泄漏、如何防患,则是我们努力的工作之一特殊气体特性及系统简介
1.2半导体厂所使用的特殊气体种类繁多,约有四五十种,依危险性可区分为以下数类*易燃性气体*毒性气体*腐蚀性气体*低压性/保温气体*惰性气体特殊气体特性简介*易燃性气体燃点低,一泄漏及其他气体相混,便易
1.引起爆炸及燃烧如*毒4,3,H2,性气体反响性极强,强烈危害人体功能,如,3,….*腐蚀性气体易及水份起反响而产生酸性物质,有刺鼻,腐蚀,破坏人体的危险性如低压性/保温气ft属粘稠性液态3,42,-.*气体,需包加热线及保温棉,将管内的温度升高以使其气化,才能充分供给气体,如惰性气体又称窒息性气体,当泄漏出的量使空气中含氧量减少6,3,,…至以下时,便会影响人体,甚至死亡,如166%6,C4F8,N20,…..供给系统简介*〔)气瓶柜2*()气瓶架*()特殊气体大量供给系统*,集束钢瓶*槽车*主阀箱/主阀盘()*阀箱/阀盘()我们不排除这些气体会对我们有不良影响身在半导体工厂的我们,在设计上、施工中,如何防止泄漏、如何防患,则是我们努力的工作之一第二章一次配管和二次配管*导体厂的气体管路,我们一般区分为一次配管()及二次配管⑵1又称〕为由气体的起始流出点〕至无尘室中的或()【)11为由或开场至生产机台设备处为止所使用管材以、、2Uo1/43/8“、为主1/23/4”之设计应配合气体类型考量,一般分为及两大类介绍
2.1了解半导体气体工程的配管,和管路设计,必须先了解材料0材料区分(管件)
1.(配件〕
2.(阀件〕
3..〔调压阀)4〔逆止阀)5,.〔过滤器)6(真空产生器〕
7.其他
8.选料依据气体种类,气体特性・*影响材料使用的等级•业主需求及预算*有无指定厂牌或规格依机台所需用量及本身接点选定料件尺寸♦*影响材料使用的尺寸-%〃/%〃/15A/…….*依机台所需压力及流量不同选择材料型式*选用压力范围适合或流量符合之阀件•视盘面组装选择料件接头型式*///管件定义•
1.*,以公称内径d配合壁厚作为量度之尺寸.*:以外径及壁厚作为量度之尺寸.*规格:・・・外表处理等级-6M4M100M1304304L316/316L
223.外表研磨-外表研磨+电解研磨等级•
4.*一般使用或等级316L316L*:。