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产品资料多晶铸锭炉型号JZ-460/660（G5热场）制造商北京京运通科技股份0；0283联系人郭彦军北京，年
七、多晶铸锭炉安装条件2023
（一）、供土建设计全部资料
1.厂方要求安装起吊高度26500mm
2.厂房清洁度要求密闭净化厂房（参考30-100万级依据当地风沙气候定），杜绝可腐蚀性气体
3.安装地基应放置在专用混凝土根底上，混凝土厚度2250m,承重力量210吨/面m
4.室内环境条件须恒温、恒湿，室温20±5℃,相对湿度^65%
5.厂房应尽量远离或避开振动源、外界振源当大于10Hz时振幅值小于【二）、冷却用水的要求用水量及压力流量
1、冷却水入口压力最大入、出口压力差入口水温W28C〔最好24+-1℃）流量160-180L/min
2、备用水（紧急状况）:流量＞160L/min,维持时间210h,备注停水时马上换至备用水
（三）、铸锭炉用各种气体、压力及用量
1、氤气压力及用量压力以上流量能供给0-200L/min的流量消耗量70-7511左右/炉
2、压缩空气压力流量100L/min
3、氮气（可选项）压力以上用量6-7m3/硅锭
（四）、铸锭炉各单元用电明细
1、真空机组电源电压380V频率50Hz功率相数3相
2、电控系统电源电压380V频率:50Hz功率10kw相数3相
3、加热系统电源电压380V频率50Hz功率200kw相数3相
（五）、铸锭炉水气管路接口口径
1、配气管路接口泄压安全阀接收口径
①150mm氨气接收口径NW-16法兰氯气接收口径NW-16法兰
2、冷却水接口冷却水入、出口口径Rc2〃
（六）、铸锭炉真空机组参数
1、真空机组抽气速率300L/S主管路进气口径
①150nnn出气口口径076mm辅管路进气口径
①16mm
八、产品有用型专利证书北京京运通多晶硅铸锭炉，专利申请
1.有用型专利一种型多晶硅炉，专利号
2.有用型专利多晶硅炉传动装置，专利号
3.有用型专利多晶硅炉泄压装置，专利号
4.有用型专利一种多晶硅铸锭炉，专利号
5.有用型专利多晶硅铸锭炉，专利号
6.外观设计专利多晶硅炉，专利号
7.制造专利多晶硅铸锭炉自动掌握系统及方法，申请号
8.制造专利多晶硅炉观看装置，申请号
9.软件著作权多晶硅铸锭炉操作掌握软件，登记号2023SR34560
九、JZ-460/660型多晶炉补充介绍
（一）、机械局部
1.质量流量掌握器承受美国进口ALICAT品牌质量流量掌握器来掌握氤气的流量，保证工艺所需的僦气能够稳定，准量的输送到炉内ALICAT品牌为美国知名品牌，其产品以稳定的工作性能和极其低的故障率，使众多厂家选用了此品牌本质量流量掌握器内置数码显示，配备自动与手动掌握两个选择，在发生紧急状况时，可以手动的掌握质量流量掌握器来保证炉内晶体的质量
2.确定电容压力计承受两个美国进口MKS品牌确实定电容压力计来监控炉内的压力，量程分别为Itorr和lOOOtorr通过这两个电容压力计，可以准确的推断炉体是否漏气、炉内运行要求的压力等等
3.直线运动单元承受德国进口丹纳赫品牌的直线运动单元，通过电机驱动来带动直线运动单元来上下运动，从而带动隔热笼上下运动，来掌握长晶
4.涡轮丝杠直线推杆承受德国进口丹纳赫品牌的直线推杆，带动下腔室运动，保证下炉体运行的平稳与牢靠，从而保证了装料的精度，避开了由于下腔室摇摆而造成的安全隐患
5.氧化铝纤维毯承受了日本的氧化铝针刺纤维毯，整体构造铺在炉底当发生硅液溢流事故时能够将硅液与炉体隔离开，保证了人员与设备的安全，从而提高安全性
6.排气总阀排气总阀即真空阀承受了进口瑞士VAT的产品，该产品性能稳定，能够在高压差下稳定工作，具备停气后自动关闭的功能，当车连续电时，能够自动关闭，保持炉内压力，等待操作人员解决问题
7.传动软轴传动软轴承受了国内著名厂商上海公利的产品，传动稳定牢靠，保证了下炉体长期稳定的运动能够兼容800kg硅料时炉腔的重量
8.真空泵真空泵为整个设备的运行供给了真空动力源力鑫真空是国内著名真空设备生产商其公司有成熟的产品，完善的售后效劳网，使其在行业内享有盛誉目前塞维已经间续将GT原带真空泵替换为力鑫真空的真空机组
9.气控阀，电磁阀等气控元件均承受了日本smc的系列产品
10.炉膛承受了进口低炭不锈钢316L,承受半自动焊接良好的焊接性能保证了设备稳定牢靠地运行，其余机械关键部件均为京运通自主生产，掌握了加工环节，避开了在外协厂商处由于材质、加工工艺等缘由造成设备稳定性的下降
（二）、电气局部
1.可编程掌握器（PLC）承受了国际名牌德国西门子的全套PLC单元，包括cpu,温度模块，运动模块，电源模块等等掌握器的整体承受保证了设备的兼容性，再加上西门子公认的极低的故障率，保证了设备长时间的稳定运行，降低了修理保养本钱
2.隔热笼提升伺服电机与下腔室提升伺服电机承受著名厂家台达的伺服电机与驱动器配套使用，伺服电机内置高精度编码器，能够准确的将伺服电机的运行参数反响给驱动器，从而高准确度的掌握隔热笼与下腔室的运行
3.平板电脑（工控机）承受了国内知名品牌研华的工控机，高端的计算机配置保证了系统界面运行的速度，专业的工业掌握电脑生产商，拥有多项专利技术，保证了电脑运行的牢靠与稳定配备本司单独研发的掌握系统，使铸锭炉的操作更加的简洁，快捷
4.主供电电源主供电电源承受了四川英杰生产的多晶铸锭炉电源与电源掌握柜该电源承受了英杰自主研发的功率掌握器，可以稳定、长时间的运行，功率因数可以到达以上，极大的节约了能源，提高了牢靠性
5.红外高温计承受了国内知名品牌亚频科技的产品，高精度的温度监测保证了报警信号采集的准确与快捷削减了误报警的次数
（三）、热场局部JZ-460/660为了保证工艺要求，延长使用寿命，降低能耗，全套热场承受进口材质
1.隔热层全套美国优卡材料（与GT配套厂家全都），经过了授权的专业化处理，避开了因二次加工对其外表损害后造成密度减小，隔热效果下降的现象消灭
2.加热器，dss-block,护板，垫板等石墨件承受了世界四大供给商之一的德国西格里石墨
3.热电偶测温装置承受了全套美国进口配件〔热偶丝，热偶丝绝缘套，氧化铝保护管，氧化错保护管）美国进口热偶提高了测温的精度，能够更好的掌握晶体质量；延长了使用寿命，缩小了修理本钱降低了由于保护管损坏影响生产的概率具体外购件信息请见JZ-460/660炉主要外购件明细表京运通JZ-460/660炉主要外购件明细表数序号设备名称型号规格国别/产地备注量1质量流量掌握器1ALICAT美国2确定电容压力计627/6262MKS美国3直线运动单元MG07K057A*7003丹纳赫德国4涡轮丝杠直线推杆3丹纳赫德国5氧化铝针刺纤维毯日本6真空阀14044-PE441VAT瑞士7电磁阀SYJ714-5G5SMC日本8气动阀1SMC日本9伞齿轮箱3穆光10传动软轴4上海公利11真空泵1力鑫真空12可编程1西门子德国隔热笼提升伺服电机及131台达驱动器下腔室提升伺服电机及141台达驱动器.15平板电脑PPC-174T1研华16主电源1四川英杰17红外高温计1亚频科技18JZ-460加热器1西格里德国19JZ-460隔热层1美国优卡美国20JZ-460加热器弯板6西格里德国21JZ-460珀期垫板1西格里德国22JZ-460用烟护板4西格里德国23JZ-460dss-block1西格里德国24JZ-460堪烟护板螺栓_____C/C M16______12东洋碳素25JZ-460加热器螺栓80东洋碳素26热电偶R型WRR-01B11902霍尼韦尔美国27热偶保护错管2霍尼韦尔美国28热偶保护陶瓷管2霍尼韦尔美国
十、该系列设备核心技术及创点I、投料量大，有效降低能耗JZ多晶铸锭系列先进的热场设计，一次投料520KG/660KG,产出520KG/660KG的硅锭，尤其是JZ-660系列，已在江西赛维和京运通公司成功铸出660KG和800KG的硅锭
2、设备运行的稳定性、安全性※下炉膛设有溢流线接口，安全性能提高，避开硅液溢流击穿炉体※顶部及底部安装观看孔有效观看边角长晶及炉底运行状况，便于作业者进展掌握※炉盖设有热偶孔、红外测温仪、中心长晶孔及防爆螺钉，当腔室内压力突然增大，此构造将用来保证人身安全※抽气阀的地方设有安全防爆装置，能有效增加安全性能※隔热层为美国进口材料，隔热效果好，无热变形，有效掌握热场温度，炉底保护毯经过屡次硅液承载试验，高温下承载液体硅效果格外好※上下炉膛均为夹层水冷却构造，内外材质好，厚度大※完善的水冷系统，进水管和出水管上的水压表可以直接读出进出水压力在每路出水管上都装有流量计，通过显示可以了解炉子各局部冷却水的运行状况，避开水管堵塞，造成安全事故的发生
3、完善的电器掌握系统，提升自动化程度※电器承受PLC掌握系统，动态检测，高速响应，实现了全过程自动掌握和数据交换，具有安全高效、稳定牢靠、抗干扰性好、牢靠性高等优势※全中文手触屏掌握界面，简洁易操作，故障率低公司简介
一、公司概况北京京运通科技股份成立于2023年8月8日，并于2023年10月31日改制为股份，注册资金亿元人民币，公司总资产15亿元人民币公司主要产品包括软轴单晶炉、多晶铸锭炉、区熔单晶炉、硅芯炉、多晶硅复原炉、晶体下拉炉等企业2023年总产值达8亿元，2023年总产值6亿元，2023年全年总产值约10亿元公司目前员工总数560余人，大专以上学历人员占30%以上2023年4月公司在董事长冯焕培先生提议下，董事会聘请美国麻省理工学院机械工程博士黎志欣先生任京运通公司总裁兼首席运营官，负责公司的日常运营公司目标是要成为世界级光伏设备制造商，要把国际光伏先进设备和效劳与国内的制造本钱结合起来，为客户供给性价比最高的产品公司总部位于北京经济技术开发区经海四路158号，建筑面积达万平方米的现代化大型装配厂房已于2023年初投入使用公司产能得到大幅度提升，已具备单晶炉月产150台，多晶硅铸锭炉50台的产能原有张家湾开发区厂区在改造扩建的同时，购入各种大型及周密加工设备，已成为公司的设备加工基地，为京运通的进展奠定了坚实的根底我公司为北京市高技术企业，中国电子专用设备工业协会和中国半导体材料协会会员单位公司从2023年申请并通过了IS090012023质量治理体系认证审核主要产品进展了CE认证，公司拥有光伏设备相关专利30余项，具有较强的研发力量，不断推出的产品，将促进企业的持续进展
二、公司产品介绍公司产品硅晶体生长设备主要以软轴硅单晶炉和多晶硅铸锭炉为主力产品，其次还有区熔炉和多晶硅复原炉等其他相关炉型其中软轴单晶硅炉包括JRDL-800,JRDL-900两种主要炉型，从掌握上分为（PLC IRCON工控机），（PLC CCD工控机）和（全自动.只限JRDL-900-AT）三种形式；多晶铸锭为JZ-270/
450、JZ-460/660几种机型，掌握上全部实现自动化，PLC掌握系统为西门子型产品JRDL-900型软轴硅单晶炉已经到达国内先进技术水平，设备投料量大，产出率高，该设备使用的22寸热场，投料量lOOKg120Kg,可拉制8英寸硅单晶20寸热场投料〜75Kg lOOKg,可拉制6英寸硅单晶，长度可在1500MM以上〜我公司2023年研制试验，2023年投入市场的多晶硅铸锭炉拥有多个型号，是目前世界上型号最全，规格最大的多晶硅铸锭炉，已分别产出270Kg、450Kg、520Kg660Kg800Kg硅锭，该设备主要运动、测量、掌握部件承受进口元器件，炉型为全自动掌握，PLC掌握系统承受先进的西门子型产品，掌握稳定，牢靠性强，我公司多晶硅铸锭炉已具备世界领先水平，是民族产业的骄傲
三、公司业绩我公司为北京市高技术企业，企业多年获得科委授予的科技进步奖2023年完成工业掌握计算机软轴单晶炉的研发和应用工程，实现了计算机与JRDL-700型软轴单晶炉的配套，并荣获北京西城区科委2023年度科技进步二等奖2023年完成JRDL-800型软轴单晶炉的研制、荣获2023年度科技进步一等奖2023年12月我公司研制的首台4英寸区熔炉在四川峨眉半导体材料厂一次试产成功，荣获2023年度科技进步三等奖，该工程同时获得2023-2023年度北京市火炬打算工程证书打破区熔炉长期以来依靠国外进口的局面，填补了国内设备生产的一项空白2023年完成了JRDL-900型软轴单晶炉研制，并荣获电子信息部授予的“中国半导体产品和技术奖”，我公司JRDL-800和JRDL-900软轴硅单晶炉产品在全国市场占有率始终保持在50%以上，并出口到美国、韩国、日本、台湾和地区2023年我公司研发试验成功的多晶硅铸锭炉投入市场，打破了国外设备厂家对国内多晶硅铸锭炉市场的垄断，荣获电子信息部“中国半导体产品和技术奖”，其中JZ-460/660炉型被我国著名光伏产业制造商一次订购六百余台，目前已产出660Kg和800Kg硅锭，开创了国际铸锭生长史上的先河，为世界首创
四、公司进展目标目前我公司是世界上销售数量最大的光伏产业设备制造商，公司的目标是要成为世界级的光伏设备制造商将在人才引进，科研开发、提高制造水平，市场开拓方面做更多的工作现在公司在北京经济技术开发区再次购置土地200亩，将进展光伏产业园的建设，在太阳能光伏设备领域里开创的局面，实现世界一流的光伏设备制造商的目标，创“京运通”的自主民族品牌，为光伏产业宽阔客户供给更好的效劳，真诚期望和大家的合作附件1JZ-460/660多晶铸锭炉技术参数
一、JZ-460/660型多晶铸锭炉介绍JZ-460/660型多晶铸锭炉能生产520KG/660KG-800KG优质的多晶硅锭，本设备的生产量很大，能在60个小时的时间内生产出合格的硅锭设备操作简洁，直观的界面，给操作人员节约很多时间来处理设备的运行状况，从而极大的提高了生产效率，节约了本钱JZ-460/660型多晶铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英用■烟，运行过程中，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而由下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大削减了故障的发生，从而提高了炉子的稳定性能整个工艺过程分为装料，抽真空，检漏，加热，熔化，长晶，退火，冷却装料是在喷有氮化硅涂层的石英用蜗内，在保证不破坏涂层的条件下，进展装料装完料后开头抽真空，当压力降到时即可检漏，假设设备检漏通过，此时我们即可开头自动运行设备，依据配方工艺步骤运行在晶体生长过程中，一般自用堀底部开头降温，当硅熔体温度低于熔点时，在接近珀竭底部处首先凝固，形成很多细小的核心，然后横向生长，当核心相互接触时，再渐渐向上生长，长大，形成柱状晶，柱状方向与晶体方向平行，直至全部的硅熔体都结晶为止，这样制备出来的多晶硅的晶粒大小，晶界构造，缺陷类型都很相像对于重量为520kg
①的铸造多晶硅而言，硅锭尺寸一般为840*840*316mm目前JZ-460/660炉型已被著名硅片制造厂家批量承受，稳定生产出高质量的硅锭
二、JZ-460/660型多晶铸锭炉使用需要的环境条件户内a环境温度20±5℃b环境湿度W65%〔不结露c地质震惊要求外界震源当大于10HZ时，振幅小于0
三、我公司JZ-460/660多晶铸锭炉技术性能参数表序号工程参数备注1电源电压380VAC2电源频率50HZ3电源相数3相真空机组电源功窣，电控系4电源功率200KW统电源10KW520550Kg870X870X480mm推举〜5生竭尺寸660800Kg1040X1040X480mm推举〜520Kg840X840X316mm6铸锭尺寸660Kg1000X1000X283mm抽空极限真空度IPa以下长晶等阶段工作压600mbar炉内真空7力度允许泄漏量W2Pa/5min测量范围Xi％〜最高极限温度1575℃炉内温度测量最高温度1800℃8与测量R型热电偶红重复精度土℃外测温仪炉重复精度±1℃体内直径炉02100mm体内高度2625mm下腔室升降行程950mm内/外部尺9隔热钢笼升降行程380mm寸主机［长X宽X高）3230X3200X4850mm平台（含单边梯子）5160X4730X4160mm〔长义宽X高）主机5500kg10重量平台3350kg入口压力最大11冷却水入、出口压力差入口水温W28C（最好24±1℃〕流量160—180L/min流量160L/min停水时能马上水（紧12换至备用水急状况）维持时间N10h压力以上6〜13所需氯气可选项用量7m3/硅锭压力以上14所需负1气用量70〜75m3/硅锭流量掌握范围0200L/min〜压力15压缩空气用量m3/炉流量100L/min电压380V所需真空功率16机组电源频率50Hz相数3相380V电压10KW功率所需电控系17统电源频率50Hz相数3相380V电压200KW功率所需加热系18频率50Hz统电源3相相数19泄露率lPa/h520550kg（460热场）20标准熔料量〜
②约60小时〔适用于520kg硅21生产周期碇〕泄压安全阀接收口径
①150mm氤气接收口径NW-16法兰22管路接口氮气接收口径NW-16法兰压缩空气
①8软管接头冷却水入、出口口径Rc2〃抽气速率300L/S主管路进气口径
①150mm23真空机组辅管路进气口径O16mm出气口径076mm提上升度最大2023mm载重量最大lOOOKg24叉车（选配）前脚高度最大110mm两只前脚宽度最大1300mm3000VA,25UPS1选配）16只，12V,24AH说明:
①文中520kg为我方推举装料重量设备兼容420kg-520kg的装料量，且硅锭高度须按重量调整
②建议标准投料量，可以兼容420kg-520kg的装料量，550kg为针对870X870x480mm用烟的极限装料量
四、供货清单序号货物名称规格型号单位数量备注1主机JZ-460/660台京运通2电控柜是坛通3变压器电源柜台英杰电器4真空机组台力鑫5力口热器套西格里石墨美国Ucar6保温层套保温毡7热偶测温装置套美国霍尼韦尔
五、变压器技术标准
1.输入额定电压变压器每相带3个抽头3AC380V,3AC400V,3AC420V额定频率50/60HZ电压波动范围342V418V〜
2.输出额定容量200KW额定电压3AC25V
3.其他加热掌握方式定周期调功方式调压方式变压器一次侧调压变压器构造HY掌握信号4~20mA功率因数
六、设备布置图及土建资料LUHHW.ffifflltASlH.
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