文本内容:
实验十一电容式传感器的位移特性实验
一、实验目的了解电容传感器的结构及特点
二、实验仪器电容传感器、电容传感器模块、测微头、数显直流电压表、直流稳压电源
三、实验原理电容式传感器是指能将被测物理量的变化转换为电容量变化的一种传感器它实质上是具有一个可变参数的电容器利用平板电容器原理・・C=S=£03S dd一一()11-1式中,为极板面积,为极板间距离,真空介电常数,介质相对介电常数,由此可以看出当被测S cl物理量使、或£「发生变化时,电容量随之发生改变,如果保持其中两个参数不变而仅改变另一参数,S4C就可以将该参数的变化单值地转换为电容量的变化所以电容传感器可以分为三种类型改变极间距离的变间隙式,改变极板面积的变面积式和改变介质电常数的变介电常数式这里采用变面积式,如图11-1两只平板电容器共享一个下极板,当下极板随被测物体移动时,两只电容器上下极板的有效面积一只增大,一只减小,将三个极板用导线引出,形成差动电容输出
四、实验内容与步骤按图将电容传感器安装在电容传感器模块上,将传感器引线插入实验模块插座中
1.11-2将电容传感器模块的输出接到数显直流电压表
2.Uo接入电源,合上主控台电源开关,将电容传感器调至中间位置,调节使得数显直流电压
3.±15V Rw,表显示为(选择档)(确定后不能改动)02V Rw旋动测微头推进电容传感器的共享极板(下极板),每隔记下位移量与输出电压值的
4.
0.2mm XV变化,填入下表11-1Xmm
5.
05.
25.
45.
65.
86.
06.
26.
46.
66.
87.0VmV
1.
391.
471.
721.
942.
132.
312.
462.
592.
712.
822.91Xmm
7.
27.
47.
67.
88.
08.
28.
48.
68.
89.
09.2VmV
2.
993.
053.
123.
173.
223.
263.
303.
333.
363.
383.40Xmm
9.
49.
69.
810.
010.
210.
410.
610.
811.
011.
211.4VmV
3.
423.
443.
453.
473.
483.
493.
503.
513.
523.
533.54Xmm
11.
611.
812.
012.
212.
412.
612.
813.
013.
213.
413.6VmV
3.
543.
553.
553.
563.
563.
563.
573.
573.
573.
583.58
五、实验报告根据表的数据计算电容传感器的系统灵敏度和非线性误差
1.11-1S5
六、实验数据曲线图:。