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文本内容:
《真空镀膜》课件ppt•真空镀膜简介•真空镀膜技术原理•真空镀膜设备与工艺流程CATALOGUE•真空镀膜的实践与应用目录•真空镀膜的挑战与展望01真空镀膜简介定义与特点定义真空镀膜是指在真空环境下,将金属、非金属材料加热蒸发或溅射成原子、分子,并在工件表面凝结形成一层具有特定性能的薄膜的技术特点真空镀膜技术具有高精度、高纯度、高附着力和高耐磨性等特点,可广泛应用于光学、电子、机械、装饰等领域真空镀膜的应用领域光学领域机械领域真空镀膜技术可用于制造眼镜、真空镀膜技术可用于制造刀具、相机镜头、望远镜等光学器件,模具等,提高其硬度和耐磨性提高其透光率和抗反射性能能电子领域装饰领域真空镀膜技术可用于制造集成真空镀膜技术可用于制造手表、电路、电子元件等,提高其导手机等表面的镀膜,提高其美电性能和稳定性观度和抗划痕性能真空镀膜的发展历程01020319世纪末期20世纪中期21世纪初真空技术开始应用于玻璃随着电子显微镜和集成电随着新材料和新技术的应镀膜,开启了真空镀膜的路的发展,真空镀膜技术用,真空镀膜技术不断发历史得到了广泛应用和深入研展和创新,应用领域越来究越广泛02真空镀膜技术原理真空环境的建立真空环境的必要性真空检测与监控使用真空计对镀膜室的真空度进行实为了使镀膜材料在基片上形成连续、时监测,确保镀膜过程的稳定性和重无缺陷的膜层,需要创造一个低气压复性的真空环境,以减少气体分子的阻碍和干扰真空获得技术通过机械泵、分子泵、涡轮泵等抽气设备,将镀膜室内的气体抽出,达到所需的真空度镀膜材料的蒸发与输运蒸发源的选择蒸发过程控制输运过程根据镀膜材料的性质,选通过调节蒸发源的功率和镀膜材料蒸发后,通过气择合适的蒸发源,如电阻温度,控制镀膜材料的蒸体的输运作用,将蒸气分加热、电子束加热、激光发速率,以获得所需的膜子输送到基片表面,并在加热等层厚度和成分其上凝结形成膜层镀膜在基片上的成膜过程凝结过程晶化与相变表面反应与扩散蒸气分子在基片表面凝结,形成随着膜层的生长,原子或分子的在成膜过程中,基片表面的原子原子或分子的聚合体,进而形成排列逐渐有序化,形成晶体结构,或分子可能与蒸气分子发生反应,连续的膜层同时可能发生相变,影响膜层的形成新的化合物或元素,同时原性能子或分子的扩散行为也会影响膜层的结构与性能膜层质量与性能的影响因素真空度的影响蒸气浓度与输运效率高真空度有利于减少气体分子对蒸气分子的阻碍蒸气浓度和输运效率对膜层的成分、结构和厚度和干扰,提高膜层的连续性和致密性有重要影响A BC D温度的影响基片表面的性质适当的基片温度有利于提高膜层的附着力和稳定基片表面的粗糙度、清洁度、晶体取向等因素都性,同时也能促进某些化学反应的进行会影响膜层的生长和性能03真空镀膜设备与工艺流程真空镀膜设备的组成真空系统加热系统控制系统供气系统包括各种传感器、控制包括真空室、真空泵、包括加热元件、控温装包括气瓶、气体流量计、器、执行器等,用于监管道、阀门等,用于创置等,用于加热膜料和减压阀等,用于提供反测和控制设备的运行状造和维持真空环境蒸发沉积应气体和保护气体态真空镀膜工艺流程清洁处理对基材表面进行清洗,去除油污和杂质预处理对基材表面进行活化,提高其附着力和润湿性装载膜料将膜料装载到镀膜设备中真空镀膜工艺流程抽真空加热蒸发通过真空泵将真空室内的气体抽出,通过加热元件将膜料加热至蒸发温度,达到一定的真空度使其蒸发并在基材表面沉积成膜反应沉积冷却与退膜在蒸发过程中或蒸发后,通入反应气在沉积完成后对基材进行冷却和退膜体与蒸气发生反应,生成所需的化合处理,以获得良好的附着力和表面质物并沉积在基材表面量设备操作与维护要点熟悉设备操作规程,严格按照定期对设备进行维护保养,如规程操作设备清洁真空室、更换滤网、检查密封性能等注意观察和控制真空度、温度、注意安全操作,如佩戴防护眼气体流量等工艺参数,以保证镜、手套等,确保人身安全和镀膜质量和稳定性设备安全04真空镀膜的实践与应用光学薄膜的制备增透膜在光学镜头表面镀制一层薄膜,增减反射膜加光的透射,减少反射和眩光通过在光学元件表面镀制一层特定厚度的薄膜,减少光的反射,提高透射率滤光膜根据特定光谱范围的需要,设计不同光谱特性的薄膜,实现光信号的过滤和选择高温超导薄膜的制备高温超导材料在高温超导材料表面制备一层超导薄膜,实现高效、低损耗的电流传输薄膜制备技术采用物理气相沉积或化学气相沉积等方法,在超导材料表面形成连续、均匀的薄膜薄膜性能优化通过调整薄膜的成分、结构和厚度等参数,提高超导薄膜的性能和稳定性装饰薄膜的制备金属质感膜01通过真空镀膜技术在塑料或玻璃表面形成具有金属质感的装饰膜,提高产品的外观和档次彩色膜02根据不同的颜色需求,在材料表面形成各种颜色的装饰膜,实现多样化的外观效果防划痕膜03在光学或装饰材料表面镀制一层硬膜,提高材料的抗划痕性能和耐磨性功能薄膜的制备导电膜在绝缘材料表面制备一层导电薄膜,实现电信号的传输和控制防辐射膜在材料表面形成具有防辐射功能的薄膜,保护人体免受电磁辐射的危害传感器膜在材料表面制备具有传感功能的薄膜,用于检测温度、压力、湿度等物理量05真空镀膜的挑战与展望提高膜层性能与稳定性优化工艺参数选用优质原材料引入掺杂和合金化技术通过调整镀膜工艺参数,如温度、选用高纯度、高结晶度的材料作通过掺杂和合金化技术,改善膜压力、气体流量等,提高膜层的为靶材或原料,确保膜层的质量层的力学性能、化学稳定性和光致密性、均匀性和稳定性和性能学性能拓展应用领域与市场开发新应用领域积极探索真空镀膜技术在新能源、环保、生物医学等领域的应用,拓展新的市场空间满足个性化需求针对不同行业和领域的需求,开发定制化的真空镀膜产品和服务,满足市场的个性化需求提高产品附加值通过技术创新和品牌建设,提高真空镀膜产品的附加值和市场竞争力发展新型真空镀膜技术研发新型镀膜材料研究新型的镀膜材料,如纳米材料、陶瓷材料等,以实现更优异的性能和功能探索新型镀膜工艺开发新的镀膜工艺,如脉冲激光沉积、化学气相沉积等,以降低成本、提高效率加强技术合作与交流加强与国内外企业和研究机构的合作与交流,共同推动真空镀膜技术的创新与发展THANKS。