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《真空系统的组成》ppt课件目录•真空系统概述•真空系统的组成•真空泵的类型与特点•真空容器的设计与制造•真空测量仪器与真空阀门的选择与应用•真空系统维护与保养01真空系统概述真空系统的定义真空系统是指在一定的空间内,通过特定的技术手段,使该空间内的气体压力低于大气压力,从而创造出一个接近真空或绝对真空的环境的系统真空系统通常由真空泵、真空容器、管道、阀门、测量仪表等组成,用于实现气体压缩、输送、分离、储存等操作真空系统的重要性真空技术在科学研究、工业生产、真空环境能够提供特殊的物理条真空技术对于产品的质量和性能医疗卫生等领域具有广泛的应用,件,如无氧、无尘、低温、高压也具有重要影响,如电子器件的如电子工业、光学工业、化学工等,对于科学研究和技术开发具制造、表面处理、材料合成等业等有重要意义真空系统的应用领域光学工业物理研究光学镜片的制造、物理实验的进行、光学仪器的装配等高能物理实验等电子工业化学工业其他领域电子器件的制造、化学反应的进行、医疗卫生、航天科表面处理、真空镀物质的分离和提纯技、环保科技等膜等等02真空系统的组成真空泵真空泵是真空系统中的核心部件,其作用是产生负压,使气体从容器中抽出根据工作原理,真空泵可分为机械泵和喷射泵机械泵利用机械方式(如旋转或往复运动)来压缩气体,而喷射泵则是利用气体的压力差来抽气选择真空泵时,需要考虑其抽气速率、工作压力范围、功耗以及维护成本等因素真空容器真空容器是存放被抽气体的设真空室主要用于进行真空处理真空容器的设计应考虑其工作备,根据用途可分为真空室和或存放待处理的气体,而储气压力、容积、材料以及安全性储气罐罐则用于储存已处理的气体能等因素真空管道真空管道是连接真空泵和真空容真空管道一般采用不锈钢或铜等在设计真空管道时,需要考虑管器之间的通道,其作用是输送气耐腐蚀、耐高压的材料制成道的长度、弯头数量、连接方式体以及支撑结构等因素,以确保气体的顺畅流动和系统的稳定性真空测量仪器选择合适的真空测量仪器,需要考虑真空测量仪器用于监测和测量真空系测量精度、稳定性、操作简便性以及统中的各种参数,如压力、温度、流与系统的兼容性等因素量等常用的真空测量仪器包括压力表、真空计、温度计和流量计等真空阀门真空阀门用于控制气体在真空系统中的根据用途,真空阀门可分为截止阀、节真空阀门应具备高密封性、耐腐蚀、耐流动方向和流量流阀、隔离阀等高压等特点,以确保系统的稳定性和安全性在选择真空阀门时,还需考虑其操作方式(手动或自动)、连接方式以及适用介质等因素03真空泵的类型与特点机械泵机械泵是利用机械方式(如旋转或往复运动)来产生真空的设备常见的机械泵有旋片泵、滑阀泵和罗茨泵等机械泵具有结构简单、维护方便、价格低廉等优点,但也有抽速慢、极限真空度低等缺点分子泵01分子泵是一种利用高速旋转的叶轮将气体分子加速并撞击到前面的阻挡板上,从而实现气体压缩和排出的设备02分子泵具有抽速快、极限真空度高、压缩比大等优点,常用于高真空和高洁净度的场合离子泵离子泵是一种利用电场加速离子来撞击气体分子,从而实现气体压缩和排出的设备离子泵具有极高的极限真空度和高压缩比,常用于高真空和高洁净度的场合,如电子行业和科学研究领域溅射泵溅射泵是一种利用高能粒子(如电子或离子)撞击气体分子,使其能量增加并被电离成正离子和电子,然后利用磁场和电场将正离子加速并撞击到前面的阻挡板上,从而实现气体压缩和排出的设备溅射泵具有极限真空度高、压缩比大、无油污染等优点,但也有结构复杂、价格昂贵等缺点其他类型的真空泵其他类型的真空泵包括扩散泵、吸气剂泵、低温泵等这些真空泵各有特点和适用范围,选择合适的真空泵需要根据具体需求和应用场景来考虑04真空容器的设计与制造真空容器的设计原则01020304真空容器设计应满足工艺要求,考虑容器的机械强度、刚度和优化容器结构,降低制造成本,考虑容器的热性能,合理设计确保能够实现所需的真空度、稳定性,以确保在正常操作和同时考虑安装、运输和维护的热传导、热辐射和热对流,以压力范围以及气体流速异常情况下都能安全运行便利性满足工艺要求的温度和温差真空容器的材料选择根据工艺要求和操作条件,选择具有优良的耐腐蚀、耐高温、耐低温、高强度和良好焊接性能的材料考虑材料的加工性能、经济性和可回收性,以及与其他部件的相容性对于特殊要求的真空容器,可能需要采用复合材料或特殊涂层真空容器的制造工艺焊接工艺热处理工艺无损检测表面处理根据所选材料和设计要根据需要,对容器表面根据材料和设计要求进对容器进行无损检测,求,采用适当的焊接方进行抛光、喷涂、电镀行热处理,以消除焊接确保容器无缺陷、安全法,确保焊接质量可靠、等处理,以提高耐腐蚀应力和提高材料性能可靠密封性好性和美观性05真空测量仪器与真空阀门的选择与应用真空测量仪器010203真空计真空规真空传感器用于测量真空系统内的压用于测量真空系统内气体用于检测真空系统的各种力,是真空系统的重要组的成分和浓度,对于控制参数,如压力、温度、流成部分和调节真空系统的工作状量等,为系统的自动控制态具有重要意义提供依据真空阀门的选择根据工作介质选择阀门类型真空阀门分为气体阀门和液体阀门,应根据工作介质来选择合适的阀门类型根据工作压力选择阀门规格真空阀门的工作压力应与系统的工作压力相匹配,以确保系统的正常运行根据安装位置选择阀门结构根据安装位置的不同,可以选择不同的阀门结构,以满足系统的安装要求真空阀门的应用真空泵的进出口真空容器真空管道真空阀门通常安装在真空真空阀门可以安装在真空真空阀门可以安装在真空泵的进出口,用于控制气容器上,用于控制气体的管道上,用于控制气体的体的流动和防止气体的泄进出和调节容器内的压力流动和防止气体的泄漏,漏以保证管道的正常运行06真空系统维护与保养真空泵的维护与保养真空泵的日常检查01检查真空泵的润滑油量、冷却水供应、泵体密封性等,确保泵的正常运行定期清洗和更换过滤器02过滤器是防止杂质进入泵体的关键部件,需要定期清洗或更换,以保证泵的正常工作定期更换润滑油03根据泵的类型和运行条件,定期更换润滑油,以保证泵的润滑效果真空容器的清洁与保养检查容器密封性能定期检查容器的密封圈和密封面,定期清洁容器内部确保密封性能良好,防止气体泄漏使用适当的清洁剂和工具,定期清洁容器的内部表面,去除污垢和杂质定期检测容器壁厚对于需要定期检测的容器,定期检测其壁厚,以确保容器的强度和安全性真空测量仪器与阀门的维护与保养保持测量仪器的清洁使用适当的清洁剂和工具,定期清洁测量仪器表面,去除污垢和杂质检查测量仪器准确性定期校准测量仪器,确保其准确性,以保证测量数据的可靠性阀门的日常检查检查阀门的密封性和开关灵活性,确保阀门正常工作THANKS感谢观看。