还剩24页未读,继续阅读
本资源只提供10页预览,全部文档请下载后查看!喜欢就下载吧,查找使用更方便
文本内容:
PPT,a clickto unlimitedpossibilities汇报人PPT010203040506材料类型光敏聚合物主要成分环氧树脂和丙特性具有良好的机械性烯酸酯能和化学稳定性应用领域微制造、微电去除方法化学腐蚀、激子等领域光烧蚀等良好的化学稳定性耐酸碱良好的光学性能透光率高,腐蚀,耐高温折射率低良好的机械性能具有较高良好的生物相容性与人体的硬度和耐磨性组织相容性好,无毒副作用热膨胀系数大,容易变形机械强度低,容易断裂耐化学性差,容易腐蚀加工难度大,需要特殊工艺添加标题添加标题微制造SU8去除的必要性SU8是一种光敏树脂,在微制造过程中用于制造微微制造工艺流程微制造工艺流程主要包括以下几个步骤设计、制结构然而,在制造完成后,SU8需要被去除,以确保微结构的完整性和性造、去除SU
8、后处理能添加标题添加标题去除SU8的方法去除SU8的方法主要有化学去除、物理去除和热去除等化去除SU8的影响因素去除SU8的影响因素包括去除方法、去除时间、学去除包括使用有机溶剂、酸或碱等;物理去除包括使用激光、等离子体或去除温度、去除压力等这些因素会影响去除效果和微结构的性能超声波等;热去除包括使用高温或热处理等添加标题去除SU8的质量控制去除SU8的质量控制主要包括去除效果的检测和微结构的性能测试等这些测试可以确保去除效果和微结构的性能满足要求SU8是一种光刻胶,广泛应用SU8去除是微制造过程中的重要环节,直接影响产品质量和于微制造领域性能SU8去除的方法和效果对微制SU8去除在微制造中具有不可替代的地位和作用造工艺和成本有重要影响SU8是一种光刻胶,SU8去除的目的是SU8去除的原因包SU8去除的目标是括残留的SU8会确保微结构的性能用于微制造过程为了获得高质量影响微结构的性能和可靠性达到预期中的微结构和可靠性水平超声波清洗利用超声波震动去除SU8机械刮擦使用刮刀等工具刮除SU8化学腐蚀使用化学试剂腐蚀SU8热处理加热SU8使其软化,便于去除化学溶剂使用特超声波使用超加热加热化学清洗去除SU8后,定的化学溶剂,如使用清水或去离子声波辅助化学溶溶剂,提高去除丙酮、乙醇等,溶水清洗残留化学溶剂去除SU8效率解SU8剂原理利用微生物的生物降解优点环保、无污染、成本低能力,分解SU8缺点耗时长、效率低应用实验室研究、小规模生产化学方法使用化学试剂溶解物理方法使用机械力去除SU8,激光方法使用激光照射SU8,SU8,如丙酮、甲醇等,优点是如刮刀、砂纸等,优点是速度快,使其气化或蒸发,优点是速度快,操作简单,缺点是耗时长,对环缺点是容易损伤基底材料精度高,缺点是设备昂贵,操作境有影响复杂超声波方法使用超声波去除综合方法结合多种方法去除SU8,优点是速度快,精度高,SU8,如化学+物理、化学+激缺点是设备昂贵,操作复杂光等,优点是综合优势明显,缺点是操作复杂,成本高实验目的研实验材料SU8实验方法采实验结果分究SU8去除的最薄膜、去离子用超声波清洗、析去除效果、佳方法水、乙醇、丙浸泡、擦拭等时间、成本等酮、超声波清方法去除SU8薄因素,确定最洗机等膜佳去除方法n实验材料SU
8、去离子水、乙醇、丙酮、氢氧化钠、盐酸、硅片等n实验步骤a.制备SU8溶液b.涂覆SU8溶液c.曝光d.显影e.蚀刻f.清洗●a.制备SU8溶液●b.涂覆SU8溶液●c.曝光●d.显影●e.蚀刻●f.清洗n实验结果a.成功去除SU8b.实验过程中遇到的问题及解决方法●a.成功去除SU8●b.实验过程中遇到的问题及解决方法n实验结论a.SU8去除的有效方法b.实验过程中的注意事项和改进建议●a.SU8去除的有效方法●b.实验过程中的注意事项和改进建议实验目的验证SU8去除的有效性实验结果SU8去除效果显著,无和可行性残留,无污染添加标题添加标题添加标题添加标题实验方法采用微制造技术,使用结论微制造技术可以有效去除特定化学试剂进行去除SU8,具有广泛的应用前景意义对微制造技实验设计采用何结果分析去除影响对微制造术的推动和发展,种方法去除SU8,效果如何,如去工艺的影响,如如提高产品质量、如化学、物理等除率、残留量等精度、效率等降低成本等提高去除效率如何提高SU8环保问题如何减少SU8去除成本问题如何降低SU8去去除的效率,减少时间成本过程中产生的废弃物和污染,除的成本,提高经济效益和能源消耗实现绿色制造技术难题如何解决SU8去除设备研发如何研发更加高标准制定如何制定SU8去除过程中的技术难题,如去除效、环保、低成本的SU8去除的标准和规范,确保产品质不彻底、残留等问题设备,提高生产效率量和安全性绿色环保研究无污染、自动化开发自动化、智精准控制提高去除精度低能耗的去除方法能化的去除设备和效率,降低误差复合材料研究SU8与其低成本降低去除成本,跨学科合作加强与其他他材料的复合去除方法提高经济效益学科的合作,共同推动去除技术的发展提高微制造精度和效率推动微制造技术的发展促进微制造领域的创新和进步提高微制造产品的质量和性能汇报人PPT。